Trelleborg führt fluortensidfreie FFKM- und FKM-Werkstoffe für die Halbleiterindustrie ein

„Diese neuen Hochtemperatur-FFKMs und -FKMs sind "fluorosurfactant free“. Das bedeutet, sie werden ohne niedermolekulare PFAS-Fluortenside hergestellt", sagt Chris Busby, Global Segment Director Semiconductor. „Da sich die Vorschriften zur Reduzierung des PFAS-Einsatzes weiterentwickeln, können diese Werkstoffe Kunden dabei unterstützen, sich frühzeitig auf veränderte regulatorische Anforderungen einzustellen und die Resilienz ihrer Liefer- und Prozessketten zu erhöhen. Die neuen Werkstoffe JPF50, JPF58 (FFKM) und VPF20 (FKM) überzeugen durch ihre hohe Leistungsfähigkeit und Langlebigkeit. Interessierte Kunden haben die Möglichkeit, Muster anzufordern und die Werkstoffe in ihren Anwendungen zu erproben.

Isolast® PureFab® JPF50: Reinheit und Plasmabeständigkeit für chemische Prozesse

Isolast® PureFab® JPF50 ist ein hochreines FFKM, das entwickelt wurde, um die Anforderungen an Reinheit und Plasmabeständigkeit bei diversen chemischen Prozessen und den gängigen Dünnschicht-Precursoren zu erfüllen. Durch den Verzicht auf Füllstoffe und Fluortenside verlängert der Werkstoff die Lebensdauer.

JPF50 trägt durch seine geringe Ausgasung und minimale Partikelemission zur Reduzierung von Kontaminationsrisiken und zur Verbesserung des Process Yields bei. Der Werkstoff erbringt bei Temperaturen von bis zu +300 °C eine zuverlässige Dichtungsleistung und gewährleistet eine stabile Abdichtung auch in anspruchsvollen Umgebungen. Durch den geringen Druckverformungsrest und die robuste mechanische Festigkeit ermöglicht der Werkstoff verlängerte Wartungsintervalle und trägt zur Reduzierung ungeplanter Ausfallzeiten bei.

JPF50 eignet sich für Dichtungen und Komponenten in Abscheidungs- (PECVD, HDPCVD, PEALD) und Ätzprozessen (ALE, Trockenätzen), darunter Kammerdeckel- und Gaseinlassdichtungen sowie gebondete Slit-Valve-Door-Dichtungen.

Isolast® PureFab® JPF58: Temperaturbeständigkeit und Reinheit für Hochtemperaturanwendungen

Isolast® PureFab® JPF58 ist ein FFKM, das für den dauerhaften, zuverlässigen Betrieb in Hochtemperaturumgebungen entwickelt wurde, in denen langfristige Temperaturbeständigkeit und Reinheit erforderlich sind.
JPF58 bietet eine hohe Temperaturbeständigkeit bis zu +300 °C für eine konstante Dichtungsintegrität über eine längere Nutzungsdauer und widersteht Rissbildung bei hoher mechanischer und thermischer Belastung, was zu einer längeren Lebensdauer beiträgt. JPF58 widersteht aggressiven Prozess- und Abgasen und behält bei Dauerbetrieb unter hohen Lasten und erhöhten Temperaturen seine Formbeständigkeit.
Zu den typischen Einsatzbereichen zählen Dichtungen und Komponenten in Hochtemperaturprozessen wie RTP, ALD, CVD und Diffusionsöfen, für Quarzrohr-, Plenum-, Kammer- und Ofentürdichtungen sowie für Flansche und Zentrierringe für Abgas- und Vakuumanschlüsse.

PureFab® VPF20: Zuverlässige Reinheit für moderate Prozessanforderungen

PureFab® VPF20 ist ein hochreines Fluorelastomer (FKM), das eine kontaminationsarme Produktion sicherstellt und die Anforderungen der Halbleiter- und Displayfertigung erfüllt. Der Werkstoff basiert auf einem fluortensidfreien Basispolymer und ist mit hochreinen synthetischen Füllstoffen formuliert. Diese Elastomerzusammensetzung reduziert metallische Verunreinigungen sowie ionische extrahierbare Stoffe auf ein Minimum und ermöglicht dadurch eine zuverlässige Dichtungsperformance in hochreinen und kontaminationskritischen Anwendungen.

Mit robuster mechanischer Festigkeit und elastischer Rückstellung bietet VPF20 eine gute Langlebigkeit sowohl in statischen als auch in dynamischen Dichtungsanwendungen und zeigt eine zuverlässige chemische Beständigkeit gegenüber gängigen Prozesschemikalien. VPF20 ist eine kostengünstige Alternative zu FFKM für Anwendungen mit moderaten Temperaturen und mittleren chemischen Anforderungen. 

VPF20 eignet sich insbesondere für die Herstellung von Dichtungen in Transfermodulen, Loadlocks, Equipment Front End Modules (EFEM) und Vakuumprozesssystemen, für allgemeine Vakuumdichtungen und Anlagen zur Herstellung von Displays sowie für reinheitskritische Anwendungen, bei denen schwarze FKM-Werkstoffe ein Kontaminationsrisiko darstellen.

Das gesamte PureFab®- Portfolio umfasst Werkstoffe, die für den Einsatz in aggressiven Front-End-Prozessen ausgelegt sind, einschließlich Abscheidung, Ätzen, Ashing/Stripping, Plasmareinigung und thermischer Verarbeitung wie der Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition).

Weitere Informationen

Mehr über die neuen fluortensidfreien PureFab®-Werkstoffe: https://www.trelleborg.com/en/seals/products-and-solutions/latest-innovations/purefab-fluorosurfactant-free-materials

Mehr über das umfangreiche Angebot von Trelleborg an Dichtungslösungen für die Halbleiterfertigung: https://www.trelleborg.com/en/seals/your-industry/semiconductor

* Fluortensidfreie Werkstoffe bedeuten, dass PFAS-Fluortenside nicht absichtlich verwendet werden. Nach bestem Wissen und Gewissen und auf Grundlage der verfügbaren Informationen enthalten diese Werkstoffe keine PFAS-Fluortenside. Es kann jedoch nicht garantiert werden, dass sie nicht Spuren von unbeabsichtigt vorkommenden PFAS-Fluortensiden enthalten.