Materiály nové generace bez fluorovaných povrchově aktivních látek pro těsnění v polovodičovém průmyslu

Společnost Trelleborg Sealing Solutions se věnuje podpoře polovodičového průmyslu prostřednictvím inovativních a spolehlivých těsnění. Vzhledem k vývoji předpisů je naše řada produktů PureFab® bez fluorovaných povrchově aktivních látek navržena tak, aby Vám pomohla snížit regulační rizika a posílit Váš dodavatelský řetězec.

Tyto pokročilé materiály, které jsou speciálně vyvinuty pro náročné podmínky, jsou vyráběny bez fluorovaných povrchově aktivních látek a umožňují tak přechod na řešení s nižším dopadem na životní prostředí a zároveň nabízejí výjimečný těsnicí výkon s vysokou čistotou.
Product Page Webinar Registration_PureFab® Fluorosurfactant-Free Materials

Webový seminář o materiálech PureFab® bez fluorosurfaktantů

Odborníci společnosti Trelleborg Sealing Solutions představují elastomery bez fluorosurfaktantů pro polovodičové aplikace a ukazují jejich přínos pro zvýšení spolehlivosti v náročných procesech.
Vraťte se brzy a zaregistrujte se na webový seminář o materiálech PureFab® bez fluorosurfaktantů

Isolast® PureFab® JPF50

Vysoce čistý FFKM pro polovodičové aplikace
Isolast® PureFab® JPF50 je vysoce čistý perfluoroelastomer (FFKM) vyvinutý tak, aby splňoval přísné požadavky na čistotu a odolnost vůči plazmě v pokročilých výrobních procesech polovodičů. Je vyráběn bez plniv a fluorosurfaktantů, což snižuje dopad na životní prostředí, prodlužuje životnost a zvyšuje výtěžnost.
Isolast® PureFab® JPF11 JPF50 1
Vlastnosti a výhody Isolast® PureFab® JPF50:
  • Vyráběn bez fluorosurfaktantů, což pomáhá snižovat dopad na životní prostředí
  • Poskytuje vynikající odolnost proti plazmě v různých chemických prostředích a proti nejběžnějším prekurzorům tenkých vrstev, čímž dochází k prodloužení životnosti těsnění
  • Pomáhá snižovat riziko kontaminace a maximalizovat výtěžnost díky extrémně nízkému uvolňování plynů a minimální emisi částic
  • Vynikající výkon při vysokých teplotách, s odolností až do +300 °C/+572 °F, čímž zajišťuje spolehlivé těsnění v nejnáročnějších prostředích
  • Má nízkou trvalou deformaci a robustní mechanickou pevností, což umožňuje delší intervaly mezi údržbami a pomáhá minimalizovat neplánované prostoje
Příklady použití:
  • Těsnění a komponenty v procesech depozice (PECVD, HDPCVD, PEALD) a leptání (ALE, suché leptání)
  • Těsnění víka komory a přívodu plynu
  • Lepené těsnění dvířek štěrbinového ventilu
Stáhněte si brožuru Isolast® PureFab® JPF50

Isolast® PureFab® JPF58

Vysokoteplotní FFKM pro polovodičové aplikace
Isolast_Purefab_JPF41 JPF42 JPF44 JPF58 01
Isolast® PureFab® JPF58 je tepelně odolný FFKM vyvinutý pro nepřetržitý provoz v nejnáročnějších teplotních podmínkách, kde je nezbytná dlouhodobá tepelná stabilita a čistota. Je vyráběn bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což pomáhá snižovat dopad na životní prostředí a zároveň poskytuje čistotu a spolehlivý výkon v náročných polovodičových aplikacích, čímž prodlužuje životnost.
Vlastnosti a výhody Isolast® PureFab® JPF58:
  • Vyrobeno bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což pomáhá snižovat dopad na životní prostředí
  • Poskytuje výjimečnou tepelnou stabilitu, pracuje při teplotách až do +300 °C/+590 °F a zajišťuje konzistentní integritu těsnění při dlouhodobém používání
  • Odolává praskání při vystavení vysokému mechanickému a tepelnému namáhání, což přispívá k delší životnosti
  • Odolává agresivním procesním a spalinovým plynům a poskytuje osvědčenou spolehlivost v náročných polovodičových aplikacích
  • Zachovává rozměrovou stabilitu během nepřetržitého provozu při vysokém zatížení a zvýšených teplotách

Příklady použití:
  • Těsnění a komponenty v procesech s vysokými teplotami, včetně RTP, ALD, CVD a difúzních pecí
  • Těsnění křemenných trubic, přetlakových komor a dvířek pecí
  • Příruby pro připojení spalinových a vakuových systémů a centrovací kroužky
Stáhněte si brožuru k produktu Isolast® PureFab® JPF58

PureFab® VPF20

Vysoce čistý FKM pro těsnění v polovodičovém průmyslu
PureFab® VPF20 je vysoce čistý fluoroelastomer (FKM) vyvinutý bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což snižuje dopad na životní prostředí a zároveň umožňuje výrobu bez kontaminace. Je navržen tak, aby splňoval přísné požadavky výroby polovodičů a plochých displejů, a kombinuje základní polymer bez fluorovaných povrchově aktivních látek se systémem vysoce čistých syntetických plniv, čímž poskytuje výjimečný výkon a spolehlivost v aplikacích s vysokými nároky na čistotu.
PureFab® VPF20 1
Vlastnosti a výhody PureFab® VPF20:
  • Vyrobeno bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což pomáhá snížit dopad na životní prostředí
  • Vysoce čistá směs FKM se syntetickými plnivy, která pomáhá minimalizovat kovové kontaminanty a iontově extrahovatelné látky
  • Ve srovnání se standardními materiály FKM nabízí větší mechanickou pevnost a nižší trvalou deformaci a díky tomu vykazují ve statických i dynamických těsnicích aplikacích delší životnost
  • Prokazuje vysokou chemickou odolnost vůči klíčovým chemikáliím používaným v polovodičových procesech
  • Nabízí nákladově efektivnější alternativu než FFKM pro aplikace s mírnými teplotami a středními chemickými nároky
Příklady použití:
  • Těsnění v přenosových modulech, vstupních/výstupních komorách, v předních modulech zařízení - EFEM (Equipment Front End Module) a vakuových manipulačních systémech
  • Vakuová těsnění pro všeobecné použití a zařízení na výrobu plochých displejů
  • Aplikace, kde je rozhodující čistota a kde standardní černé FKM představují riziko kontaminace
Stáhněte si brožuru PureFab® VPF20

Odborné znalosti v oblasti těsnění pro výrobu polovodičů

Společnost Trelleborg Sealing Solutions využívá desítky let zkušeností s materiály a aplikacemi určenými k poskytování vysoce výkonných těsnicích řešení pro výrobu polovodičů. Vyvíjíme inovativní, vysoce přesné polymerní technologie, které zajišťují spolehlivost, zlepšují čistotu procesů a snižují prostoje zařízení v nejnáročnějších prostředích.
AdobeStock_499684822

Těsnicí řešení pro polovodičový průmysl

Objevte naše vysoce výkonné těsnicí technologie navržené tak, aby zajišťovaly čistotu, chemickou kompatibilitu a dlouhodobou životnost v polovodičových aplikacích.
Seznamte se s našimi odbornými znalostmi v oblasti těsnění pro výrobu polovodičů
Isolast® PureFab O-Rings

Produkty a technické možnosti

Prohlédněte si naše portfolio pokročilých těsnicích produktů a technických řešení navržených tak, aby obstála v náročných podmínkách polovodičového průmyslu.
Prozkoumejte naše produkty a řešení pro těsnění v polovodičovém průmyslu
Isolast® PureFab™ FFKM

Isolast® PureFab® FFKM

Objevte materiály Isolast® PureFab®, které byly speciálně vyvinuty pro těsnění v polovodičovém průmyslu a poskytují vynikající těsnicí vlastnosti s vysokou úrovní čistoty v pokročilých výrobních procesech.
Prozkoumejte naše materiály Isolast® PureFab® FFKM

Technické otázky a odpovědi

  • Jsou materiály bez fluorosurfaktantů stejně účinné jako standardní elastomery?
    Ano, materiály bez fluorosurfaktantů vykazují výjimečný těsnicí výkon zejména v aplikacích vyžadujících vysokou čistotou. Nabízejí vynikající odolnost proti plazmě, tepelnou stabilitu, chemickou kompatibilitu a hlavně neobsahují škodlivá aditiva.
  • Jaká je maximální teplotní mez pro materiály PureFab® bez fluorosurfaktantů?
    Vysokoteplotní typy FFKM, jako jsou Isolast® PureFab® JPF50 a JPF58, mohou nepřetržitě fungovat při teplotách až do +300 °C/+590 °F.
  • Jaké jsou výhody elastomerů bez fluorosurfaktantů při výrobě polovodičů?
    Elastomery bez fluorosurfaktantů nabízejí klíčové výhody při výrobě polovodičů, protože podporují vysokou čistotu, nízkou kontaminaci a stabilní výkon procesu. Díky eliminaci fluorosurfaktantů tyto materiály splňují měnící se regulační požadavky a zároveň si zachovávají vynikající chemickou odolnost, tepelnou stabilitu a trvanlivost. To z nich činí ideální volbu pro pokročilé polovodičové procesy, kde je čistota a spolehlivost materiálu zásadní.
  • Kde se v zařízeních na výrobu polovodičů používají elastomery bez fluorosurfaktantů?
    Elastomery bez fluorových povrchově aktivních látek se používají v celé řadě polovodičových výrobních zařízení, včetně systémů pro nanášení a leptání, vakuových komor, systémů pro přívod plynu a přenosových modulů. Poskytují spolehlivé těsnicí vlastnosti v prostředích vystavených agresivním chemikáliím, vysokým teplotám a vakuovým podmínkám, čímž pomáhají udržovat stabilní a vysoce čisté výrobní procesy.
* Materiály bez fluorovaných povrchově aktivních látek znamenají, že fluorované povrchově aktivní látky PFAS nejsou používány záměrně. Podle našich nejlepších znalostí a na základě dostupných informací tyto materiály neobsahují fluorované povrchově aktivní látky PFAS. Nelze však zaručit, že by tyto materiály neobsahovaly stopové množství fluorovaných povrchově aktivních látek PFAS, které se v nich vyskytují neúmyslně.
Zobrazit více
Zobrazit méně