Společnost Trelleborg Sealing Solutions uvádí na trh čtyři nejlepší materiály třídy Isolast® PureFab™, které byly speciálně vyvinuty pro kritické těsnicí aplikace polovodičového průmyslu. S využitím těchto jedinečných perfluorelastomerových (FFKM) směsí mohou výrobci OEM (Original Equipment Manufacturer) a Fab zvýšit produkci svých výrobků a snížit poruchovost výrobních procesů. To vede ke snížení prostojů, prodloužení cyklů údržby, delší provozuschopnosti nástroje a tím také ke snížení celkových nákladů.
Výborné mechanické vlastnosti všech těsnicích polovodičových materiálů ‘Fab Four’ jsou dány nejvyšší čistotou, vysokou odolností vůči plazmě, schopností odplynění, nebo tepelnou stabilitou. Pro své specifické vlastnosti patří jednotlivé materiály k nejlepším ve své třídě:

 

  • Isolast® PureFab™ JPF10 - materiál na čistě organické bázi s výraznou odolností proti plazmě
  • Isolast® PureFab™ JPF20 - značně odolný materiál proti plazmě a schopností akceptovat minimální částice v drsném prostředí
  • Isolast® PureFab™ JPF21 - materiál s minimální kontaminací kovových částic určený pro dlouhodobou teplotní zátěž
  • Isolast® PureFab™ JPF22 - materiál s vynikající chemickou odolností je univerzální FFKM vhodný pro širokou škálu aplikací
  • Isolast® PureFab™ JPF30 - průsvitný materiál s vysokou teplotní odolností a extrémní čistotou
  • Isolast® PureFab™ JPF40 - materiál určený pro náročné, vysokoteplotní Subfab aplikace a tepelné procesy

Webový seminář – Isolast® PureFab™ FFKM

Odborníci na materiály společnosti Trelleborg Sealing Solutions a specialisté na polovodičový průmysl představují rozšířené portfolio materiálů Isolast® PureFab™ a ukazují, jak mohou tyto materiály šetřit čas a náklady výrobcům polovodičů.



Zhlédněte webový seminář

Vlastnosti a výhody materiálů Isolast® PureFab™

  • Stabilita při vysokých teplotách
  • Nejvyšší čistota
  • Výjimečně nízký obsah stopových kovů
  • Vynikající odolnost vůči plazmě
  • Nejlepší výkon v agresivních 'front-end' procesech včetně nanášení, leptání, spalování/odsávání, plazmovém čištění a tepelném zpracování, jako například v systému pro depozici atomárních vrstev
  • Snížené uvolňování částic materiálu a extrémně nízké uvolňování plynů při působení vysokého vakua
  • Umožňuje koncovým uživatelům prodloužit cyklus údržby výrobního zařízení a zároveň zajistit maximální výnos procesů
  • Aby byla zajištěna požadovaná čistota všech těsnicích prvků z materiálu Isolast® PureFab™, jsou vyráběny a baleny v čistém prostředí třídy 100 (ISO5)

Portfolio materiálů Isolast® PureFab™

Společnost Trelleborg Sealing Solutions přináší nejúčinnější těsnicí materiál, který odpovídá procesní chemii, umístění v systému a složitosti nástroje v náročných zařízeních polovodičových výrob:
Zobrazit více
Zobrazit méně

Isolast® PureFab™ JPF10

Plně organický materiál pro náročné aplikace při vysokých teplotách

• Plně organická struktura
• Vysoká čistota
• Vynikající odolnost vůči reaktivnímu fluoru a kyslíku generované plazmou
• Nízké uvolňování částic
• Stabilita při vysokých teplotách nad +300°C
• Vynikající chemická odolnost, mimo jiné i vůči páře a aminům
• Vhodný pro použití v procesech, které zahrnují suché leptání, odstraňování rezistu a při čištění pomocí plazmy


Přečíst více

Isolast® PureFab™ JPF20

Nová úroveň odolnosti vůči plazmě pro nejagresivnější aplikace

• Zdokonalený systém plnění nanočásticemi a minimálním uvolňováním částic
• Maximální odolnost vůči agresivním iontům a radikálům v plazmové chemii
• Vynikající stabilita při vysokých teplotách do +320°C
• Vhodný pro použití ve všech procesech leptání a v kritických oblastí nástrojů, kde je vyžadována extrémní odolnost vůči plazmě

Přečíst více

Isolast® PureFab™ JPF21

Vynikající výkon při vysokých teplotách v náročných aplikacích

• Materiál s patentově chráněným plněním poskytuje vynikající odolnost vůči kyslíkové plazmě a garantuje rozměrovou stabilitu
• Minimální částice v plazmě za použití NF3
• Prodlužuje životnost těsnicích prvků díky jeho vynikající tvarové paměti garantující zachování těsnicí síly i při dlouhodobém působení teplot nad +300°C
• Vhodný pro použití v procesech leptání, nanášení a difuze

Přečíst více

Isolast® PureFab™ JPF22 

Vynikající chemická kompatibilita pro širokou škálu polovodičových aplikací

  • Zesilující syntetický systém plniv maximalizuje mechanické vlastnosti
  • Extrémně nízký obsah vyluhovatelných látek dle SEMI F40/F57
  • Vynikající odolnost vůči agresivním chemikáliím na bázi aminů
  • Nízký obsah stopových kovů vedoucí k vysoké výtěžnosti procesu
  • Vynikající chemická kompatibilita s běžnými suchými provozními plyny v méně kritických procesech
  • Minimální tvorba částic a úbytek hmotnosti při vystavení široké škále plazmových technologických plynů
Přečíst více

Isolast® PureFab™ JPF30

Špičkový průsvitný materiál pro kritické aplikace

• Průsvitný materiál bez plniv a extrémně vysokou čistotou
• Extrémně nízký obsah stopových kovů
• Bezkonkurenčně nejlepší tepelná stabilita ve srovnání s konkurenčními průsvitnými materiály a to i při teplotě +300°C
• Vhodný pro použití v procesech spalování a odsávání a rovněž v aplikacích vyžadujících nízkou těsnicí sílu 

Přečíst více

Isolast® PureFab™ JPF40

Perfluorelastomer určený pro ultravysoké teploty v náročných Subfab aplikacích

  • Jedinečná chemie křížových vazeb poskytuje nízkou kompresní setrvačnost po dlouhou dobu, což zajišťuje integritu těsnění
  • Bezkonkurenční tepelná stabilita až do +327°C/+620°F
  • Nízké vlastnosti odplyňování
  • Velmi nízká kontaminace stopovými kovy ve srovnání s jinými vysokoteplotními černými FFKM materiály
  • Vynikající chemická kompatibilita s běžnými suchými procesními plyny
  • Minimální tvorba částic a úbytek hmotnosti při vystavení široké škále plazmových technologických plynů 
Přečíst více

Zjistěte více

Naše celé portfolio výrobků PureFab™

Isolast® PureFab™ – mimořádně vysoká čistota a účinné utěsnění plazmy v kritických aplikacích polovodičového průmyslu

 

Přečíst více

Těsnění v polovodičovém průmyslu

Prozkoumejte těsnicí řešení navržená tak, aby vyhovovala specifickým potřebám tohoto průmyslového odvětví

 

Přečíst více

Kontaktujte nás

Kontaktujte nás a my Vám pomůžeme s řešením těsnicího systému pro Vaši aplikaci

  

Kontaktujte nás