Portfolio materiálů Isolast® PureFab™
Společnost Trelleborg Sealing Solutions přináší nejúčinnější těsnicí materiál, který odpovídá procesní chemii, umístění v systému a složitosti nástroje v náročných zařízeních polovodičových výrob:
Společnost Trelleborg Sealing Solutions uvádí na trh čtyři nejlepší materiály třídy Isolast® PureFab™, které byly speciálně vyvinuty pro kritické těsnicí aplikace polovodičového průmyslu. S využitím těchto jedinečných perfluorelastomerových (FFKM) směsí mohou výrobci OEM (Original Equipment Manufacturer) a Fab zvýšit produkci svých výrobků a snížit poruchovost výrobních procesů. To vede ke snížení prostojů, prodloužení cyklů údržby, delší provozuschopnosti nástroje a tím také ke snížení celkových nákladů.
Výborné mechanické vlastnosti všech těsnicích polovodičových materiálů ‘Fab Four’ jsou dány nejvyšší čistotou, vysokou odolností vůči plazmě, schopností odplynění, nebo tepelnou stabilitou. Pro své specifické vlastnosti patří jednotlivé materiály k nejlepším ve své třídě:
Plně organický materiál pro náročné aplikace při vysokých teplotách
• Plně organická struktura
• Vysoká čistota
• Vynikající odolnost vůči reaktivnímu fluoru a kyslíku generované plazmou
• Nízké uvolňování částic
• Stabilita při vysokých teplotách nad +300°C
• Vynikající chemická odolnost, mimo jiné i vůči páře a aminům
• Vhodný pro použití v procesech, které zahrnují suché leptání, odstraňování rezistu a při čištění pomocí plazmy
Vynikající chemická kompatibilita pro širokou škálu polovodičových aplikací
Perfluorelastomer určený pro ultravysoké teploty v náročných Subfab aplikacích
Isolast® PureFab™ – mimořádně vysoká čistota a účinné utěsnění plazmy v kritických aplikacích polovodičového průmyslu
Prozkoumejte těsnicí řešení navržená tak, aby vyhovovala specifickým potřebám tohoto průmyslového odvětví