Špičková těsnicí řešení pro polovodičový průmysl
Za těchto podmínek se do popředí dostávají mimořádně výkonná těsnění od společnosti Trelleborg Sealing Solutions, která pro zajištění maximální výtěžnosti procesu garantují čistotu, chemickou odonost a prodloužení doby provozu.
Výsledkem rozsáhlého vývoje a testování jsou mimořádně čisté materiály s obchodním názvem Isolast® PureFab® FFKM od společnosti Trelleborg Sealing Solutions. Předností těchto materiálů je extrémně nízký obsah stopových kovů a prakticky nulové uvolňování částic. Nízká eroze plazmou, vysoká teplotní stabilita a vynikající odolnost vůči chemickým reakcím jak v suchých tak i v mokrých procesech jsou v kombinaci s vynikajícími těsnicími schopnostmi klíčové vlastnosti těsnicích prvků vyrobených z těchto materiálů. V důsledku těchto vlastností dochází ke snížení celkových nákladů na výrobu a provoz. Aby byla zajištěna požadovaná čistota všech těsnicích prvků z materiálu Isolast® PureFab®, jsou vyráběny a baleny v čistém prostředí třídy 100 (ISO5).
Využijte podporu našich odborníků a zajistěte si tak nejlepší úroveň služeb v této oblasti. Nabízíme spolupráci od fáze prvotního návrhu těsnicího prvku, přes vývoj a dodání prototypu až po sériovou výrobu. Klíčovou roli v urychlování těchto našich služeb sehrává maximální využívání digitálních nástrojů.
Products
Our diverse portfolio includes solutions such as O-Rings, CMP membranes and bonded slit valve door seals - delivering exceptional purity, process integrity and long-term reliability for demanding semiconductor environments.
Materials
Our advanced polymer materials, such as Isolast® PureFab®, offer ultra-high purity, exceptional chemical compatibility and outstanding thermal stability - delivering reliable performance for critical semiconductor processes.
Application expertise across semiconductor processes
Our solutions are engineered for critical plasma, subfab, thermal and wet semiconductor processes, using ultra-high purity materials that guard against contamination and stand up to harsh chemicals, plasma and extreme temperatures.
Plasma processes
We use ultra-high purity materials to create reliable, long-lasting seals for plasma processes that limit outgassing and contamination, supporting higher yields and consistent performance.
Subfab processes
Our advanced sealing solutions for subfab environments deliver reliable performance under extreme conditions. By maintaining ultra-clean standards and withstanding aggressive chemicals and thermal cycling, these components help ensure reliable system operation and consistent uptime.
Thermal processes
We deliver reliable sealing solutions for thermal processes with Isolast® PureFab® materials that combine robust mechanical strength and chemical compatibility. These seals endure high temperatures, are compatible with aggressive chemicals and help minimize particle generation, supporting reliable performance and clean production conditions that contribute to higher process yields.
Wet processes
Our Isolast® PureFab® seals deliver outstanding chemical compatibility and ultra-low extractables for wet processes. Engineered to minimize contamination and support clean operations, these solutions help maintain process integrity and consistent yields in demanding environments.
Research & development and global manufacturing
Our local for local strategy ensures design, prototyping and delivery are fast and adaptable, helping accelerate your time to market. As your development partner, we collaborate from concept to completion, accelerating time to market with rapid design and a steadfast commitment to innovation in semiconductor manufacturing.
Research & development
Trelleborg Sealing Solutions combines decades of engineering expertise with ongoing material innovation to deliver high-precision sealing solutions.
Our advanced R&D and material testing support compound development, material characterization, comparison, failure investigation and application-specific engineering decisions to maximize efficiency.
Global manufacturing footprint
Our global manufacturing network of more than 35 manufacturing facilities delivers fast, flexible production, consistent quality and local sourcing for responsive support and shorter lead times.
Among our dedicated semiconductor sites, Malta excels in cleanroom manufacturing, Tewkesbury, UK combines cleanroom manufacturing and R&D testing, including a plasma lab and Yongin, South Korea stands out as a leading R&D center with advanced plasma testing.
Semiconductor resources and technical guidance
Explore our resources to discover how Trelleborg's engineered polymer solutions can enhance your semiconductor manufacturing processes.
Brožura
“Semiconductor Polymer Solutions“
Bezkonkurenční schopnosti v oblasti těsnicích řešení pro polovodičový průmysl
Bezkonkurenční schopnosti v oblasti těsnicích řešení pro polovodičový průmysl
Virtuální showroom
Prohlédněte si sekci zaměřenou na polovodičový průmysl a objevte navržená řešení, která urychlují uvedení výrobků na trh.
In the Groove
Insights and Innovations
Explore our digital magazine featuring the latest industry news, trends and technological advancements.
On-demand semiconductor webinars
Explore our on-demand webinars, offering technical insights and solutions to industry-specific challenges.
Engineering tools for seal specification
Discuss your semiconductor application
Share your application-specific requirements and connect with our experts to find the optimal sealing solution. As a first step, the respective component, media and plasma exposure, temperature, pressure or vacuum, motion, purity limits and hardware help to kick-start conversations about reliable solutions. Our semiconductor experts will identify relevant products and materials and define the next engineering and validation steps together with you.