高性能半導體密封解決方案
在這些條件下,特瑞堡密封系統的高性能密封件脫穎而出,可確保潔淨度、耐化學性並延長設備運行時間以實現最大產量。
特瑞堡密封系統的高純度 Isolast® PureFab™ FFKM 全氟橡膠材料經過廣泛的開發和測試,可確保極低的金屬析出量和顆粒釋放。低電漿侵蝕率、高溫穩定性、出色的乾濕製程化學耐受性、以及出色的密封性將是可靠密封件的關鍵特性,同時降低整體擁有成本。為了確保產品的純度,所有 Isolast® PureFab™ 密封件均在 Class 100 (ISO5) 無塵室環境中生產和包裝
全球的資源協助、在地專家的協助、和專門的半導體專家,這三大支柱確保了我們從設計、打樣、出貨、到批量生產階段都提供一流的服務水平。我們業界領先的的設計協助和數位化工具是提高性能的關鍵資產。