高性能半導体向けシーリングソリューション
このような過酷な条件下において、トレルボルグ シーリング ソリューションズの高性能シールは真価を発揮します。
高いクリーン度、優れた耐薬品性、そして稼働時間の延長を実現し、高い歩留まりを実現します。
高いクリーン度、優れた耐薬品性、そして稼働時間の延長を実現し、高い歩留まりを実現します。
広範囲にわたる試験を経て開発された、トレルボルグ シーリング ソリューションズの先端高純度FFKM材料「Isolast®(イソラスト) PureFab®」は、金属溶出やパーティクルが極めて低いシール材料です。プラズマによる浸食率の低さ、高温環境での安定性、ドライおよびウェットの各種プロセス薬品に対する優れた耐性、そして卓越したシール性能を兼ね備えており、信頼性の高いシール材としてTCO(Total Cost of Ownership)の削減に貢献します。さらに、製品の純度を確保するため、すべてのIsolast® (イソラスト) PureFab®シールはクラス100(ISO5)クリーンルーム環境下で製造・包装されています。
各地域でのサポート、グローバルなネットワーク、半導体分野に特化した専任エキスパートのサポートという3本の柱によって、設計、試作、納入、そして量産にいたるまで最高クラスのサービスを提供します。これらの優れたサポート体制と当社のデジタルツールによって、お客様の製品開発がよりスムーズに運べるよう支援しています。