ドライプロセス| Trelleborg Sealing Solutions

ドライプロセス向けのシールソリューションのご紹介

システム稼働時間の延長と歩留まりの向上を実現

半導体製造において、ドライプロセスは極めて重要な工程の一つです。コンタミネーションの発生防止や安定したプロセスの確保、さらにはパーティクルによる不具合の最小化が常に求められています。当社では、これらの課題に対応するために高性能なシール材を提供しており、歩留まりの向上、デバイス品質の改善、そして製造効率の最大化に大きく貢献しています。

半導体用シール製品に関するお問い合わせ

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ガスインジェクター用シール

プロセスガスへの耐性
高い純度
長期にわたる信頼性

シール材:
Isolast®（イソラスト） PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF20
その他のlsolast® （イソラスト）P ure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

シャワーヘッド用シール

優れた耐プラズマ性
高い純度
金属溶出が少ない

シール材料:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF20
その他の lsolast® （イソラスト）Pure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

チャンバーリッド用シール

パーティクルの発生が非常に低い
優れた耐プラズマ性
アウトガスが極めて少ない

シール材:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF20
その他のlsolast® （イソラスト）Pure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

ウィンドー/ビューポート向けシール

アウトガスが極めて少ない
様々なサイズや形状で利用可能

シール材:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF22
その他のlsolast® （イソラスト）Pure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

静電チャック用シール

パーティクルの発生が極めて少ない
優れた耐プラズマ性
高い純度

シール材:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF30
その他のlsolast® （イソラスト）Pure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

サブファブプロセス

真空ポンプや排ガス処理プロセスなどのサブファブプロセスでは、下記のようなシールが求められます:

優れた耐高温特性
優れた耐薬品特性
長寿命

シール材:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF21
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF40
その他の lsolast® （イソラスト）Pure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

成膜工程

下記のようなシールが求められます:

極めて少ないアウトガス特性
腐食性の高いプリカーサーでも使用可能
優れた耐熱性
高い純度

シール材:
Isolast®（イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF21
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF40
その他のlsolast® （イソラスト）Pure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

ドライエッチングプロセス

下記のようなシールが求められます:

優れた耐プラズマ性
プラズマによるクラックが起こり難い
パーティクルの発生が少ない
高い純度

シール材:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF20
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF30
その他のlsolast® （イソラスト）Pure Fa b®材を見る
バーチャルショールーム

Isolast®（イソラスト）K-Fab™

組み付けが簡単
フランジの連結部にも独自形状を採用することで、取り扱い性と組み付け性を向上
優れた高温特性
材料の選択により、+327℃ (+621 °F)までの高温用途で使用可能
優れたシール性
独自の断面形状により、機械特性と軸方向のシール性が向上
長寿命化
真空環境やオーバープレッシャーに適したシール形状
過度な溝占有率やはみ出しの防止
断面積を大幅に削減した特殊シール形状により、一般的なO-リングを使用することで発生する、真空継手の溝内における熱膨張による過度な溝占有率やはみ出し問題を解決

シール材:
Isolast® （イソラスト）K-Fab™ フランジシール lsolast® （イソラスト）Pure Fa b®の詳細

スリットバルブドア

長寿命化
優れた耐プラズマ性
アウトガスが極めて少ない

シール材:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF20
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF30
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF40
その他のlsolast® （イソラスト）PureFa b®材を見る
バーチャルショールーム

ウェハー搬送サポート/パッド

低フリクション
高い純度
様々な形状や設計が可能

シール材:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF22
その他の lsolast® （イソラスト）PureFa b®材を見る
バーチャルショールーム

プリカーサー容器用シール

低透過性
高い純度

TDMATをはじめとするアミン系物質を含むあらゆるガスに対応可能:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF40
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バーチャルショールーム

プロセスガス供給バルブ用シール

全てのプロセスガスへの耐性
高い純度
長期にわたる信頼性

TDMATをはじめとするアミン系物質を含むあらゆるガスに対応可能:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF20
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF22
その他のlsolast® （イソラスト）PureFa b®材を見る
バーチャルショールーム

メインチャンバー用シール

極めて低いアウトガス
低透過性
Fleximold™による大口径シールを含め、あらゆるサイズに対応

TDMATをはじめとするアミン系物質を含むあらゆるガスに対応可能:
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF10
Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF22
その他の lsolast® （イソラスト）PureFa b®材を見る
バーチャルショールーム

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