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Materiali di nuova generazione privi di tensioattivi fluorurati per la tenuta nel settore dei semiconduttori

Trelleborg Sealing Solutions si impegna a supportare l’industria della produzione di semiconduttori con guarnizioni innovative e affidabili. Con l’evolversi delle normative, la nostra gamma PureFab® priva di tensioattivi fluorurati è stata progettata per aiutarti a ridurre i rischi normativi e a rafforzare la tua catena di fornitura.

Progettati specificatamente per condizioni difficili, questi materiali avanzati sono prodotti senza tensioattivi fluorurati, per aiutarti nella transizione a soluzioni con un minore impatto ambientale, offrendo al contempo prestazioni di tenuta eccezionali ad altissima purezza.
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Webinar sui materiali PureFab® privi di tensioattivi fluorurati

Gli ingegneri di Trelleborg Sealing Solutions presentano i nostri elastomeri privi di tensioattivi fluorurati per la tenuta nei semiconduttori e dimostrano come questi materiali possano migliorare l’affidabilità nei processi critici del settore dei semiconduttori.

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Isolast® PureFab® JPF50

FFKM ad elevata purezza per applicazioni nel settore dei semiconduttori
Isolast® PureFab® JPF50 è un perfluoroelastomero (FFKM) ad elevata purezza formulato per soddisfare i rigorosi requisiti di purezza e resistenza al plasma dei processi avanzati di produzione dei semiconduttori. È prodotto senza riempitivi né tensioattivi fluorurati, il che riduce l’impatto ambientale, prolunga la durata di servizio e aumenta le rese.
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Caratteristiche e vantaggi di Isolast® PureFab® JPF50:
  • Prodotto senza tensioattivi fluorurati per contribuire a ridurre l’impatto ambientale
  • Offre un’eccezionale resistenza al plasma in diverse composizioni chimiche e nei precursori di film sottili più comuni, garantendo una maggiore durata delle guarnizioni
  • Contribuisce a ridurre i rischi di contaminazione e a massimizzare le rese di processo grazie al degassamento estremamente basso e all’emissione minima di particelle
  • Offre prestazioni eccezionali alle alte temperature, con capacità fino a +300 °C/+572 °F, garantendo così una tenuta affidabile negli ambienti più difficili
  • Offre un ridotto compression set e una robusta resistenza meccanica, per consentire intervalli più lunghi tra una manutenzione e l’altra e contribuire a ridurre al minimo i tempi di fermo non pianificati
     
Esempi di applicazione:
  • Tenute e componenti nei processi di deposizione (PECVD, HDPCVD, PEALD) e di incisione (ALE, incisione a secco)
  • Guarnizioni del coperchio della camera e delle prese di ingresso del gas
  • Guarnizioni incollate per porte a valvola a fessura
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Isolast® PureFab® JPF58

FFKM resistente alle alte temperature per applicazioni nel settore dei semiconduttori
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Isolast® PureFab® JPF58 è un FFKM resistente al calore sviluppato per il funzionamento prolungato in ambienti con temperature estreme, dove la stabilità termica a lungo termine e la purezza sono essenziali. Prodotto senza tensioattivi fluorurati, contribuisce a ridurre l’impatto ambientale garantendo al contempo purezza e prestazioni affidabili in applicazioni critiche nel settore dei semiconduttori, prolungandone la durata.
Caratteristiche e vantaggi di Isolast® PureFab® JPF58:
  • Prodotto senza tensioattivi fluorurati per contribuire a ridurre l’impatto ambientale
  • Garantisce un’eccezionale stabilità termica, con prestazioni fino a +300 °C/+590 °F per un’integrità costante della tenuta anche in caso di uso prolungato
  • Resiste alle fessurazioni se esposto a elevate sollecitazioni meccaniche e termiche, contribuendo a una maggiore durata di servizio
  • Resiste all’esposizione a gas di processo e di scarico aggressivi, garantendo un’affidabilità comprovata in applicazioni critiche nel settore dei semiconduttori
  • Mantiene la stabilità dimensionale durante il funzionamento continuo sotto carichi elevati e temperature elevate

Esempi di applicazione:
  • Guarnizioni e componenti in processi ad alta temperatura, tra cui RTP, ALD, CVD eforni di diffusione
  • Guarnizioni per tubi in quarzo, plenum, camere e porte dei forni
  • Flangie di collegamento per scarico e vuoto e anelli di centraggio
Scarica la scheda tecnica di Isolast® PureFab® JPF58

PureFab® VPF20

FKM ad elevata purezza per tenute del settore dei semiconduttori
PureFab® VPF20 è un fluoroelastomero (FKM) ad elevata purezza progettato senza tensioattivi fluorurati, che riduce l’impatto ambientale garantendo al contempo una produzione priva di contaminazioni. Progettato per soddisfare i rigorosi requisiti della produzione dei semiconduttori e degli schermi piatti, combina un polimero di base privo di tensioattivi fluorurati con un sistema di cariche sintetiche ad elevata purezza per offrire prestazioni e affidabilità eccezionali in applicazioni in cui la purezza è fondamentale
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Caratteristiche e vantaggi di PureFab® VPF20:
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  • Prodotto senza tensioattivi fluorurati per contribuire a ridurre l’impatto ambientale
  • Formulazione FKM ad elevata purezza con riempitivi sintetici per contribuire a ridurre al minimo i contaminanti metallici e le sostanze estraibili ioniche
  • La robusta resistenza meccanica e il recupero elastico garantiscono una maggiore durata nelle applicazioni di tenuta, sia statiche che dinamiche, rispetto ai materiali FKM standard
  • Dimostra una forte resistenza chimica alle principali sostanze chimiche utilizzate nei processi dei semiconduttori
  • Offre un’opzione più conveniente rispetto all’FFKM per applicazioni con temperature moderate e requisiti chimici medi
Esempi di applicazione:
  • Tenute in moduli di trasferimento, camere di compensazione, moduli front-end delle apparecchiature (EFEM) e sistemi di movimentazione sottovuoto
  • Guarnizioni per vuoto per uso generico e apparecchiature per la produzione di schermi piatti
  • Applicazioni in cui la purezza è fondamentale e in cui gli FKM neri standard comportano il rischio di contaminazione
Scarica la brochure di PureFab® VPF20

Competenza nelle tenute per la produzione di semiconduttori

Trelleborg Sealing Solutions sfrutta decenni di esperienza nei materiali e nelle applicazioni di settore, per fornire soluzioni di tenuta ad elevate prestazioni per la produzione di semiconduttori. Sviluppiamo tecnologie polimeriche innovative e di precisione che garantiscono affidabilità, migliorano la purezza dei processi e riducono i tempi di inattività delle apparecchiature negli ambienti più critici.
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Tenute per semiconduttori

Scopri le nostre soluzioni di tenuta ad elevate prestazioni, progettate per garantire purezza, compatibilità chimica e durata a lungo termine nelle applicazioni per semiconduttori. 
Scopri la nostra esperienza nelle tenute per la produzione di semiconduttori
Isolast® PureFab O-Rings

Prodotti e competenze

Scopri il nostro portafoglio prodotti di tenuta avanzati e le nostre competenze tecniche; i nostri prodottti sono realizzati per resistere alle sfide più impegnative del settore dei semiconduttori.
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Isolast® PureFab™ FFKM

Isolast® PureFab® FFKM

Scopri i materiali Isolast® PureFab®, progettati specificamente per applicazioni di tenuta nel settore dei semiconduttori, che offrono prestazioni di tenuta eccellenti e elevata purezza nella Produzione Avanzata.
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Domande e risposte tecniche

  • I materiali privi di tensioattivi fluorurati sono efficaci quanto gli elastomeri standard?
    Sì, i materiali privi di tensioattivi fluorurati garantiscono prestazioni di tenuta eccezionali e a elevata purezza. Offrono un’eccellente resistenza al plasma, stabilità termica e compatibilità chimica, senza ricorrere ad additivi nocivi.
  • Qual è il limite massimo di temperatura per i materiali PureFab® privi di tensioattivi fluorurati?
    I gradi FFKM per alte temperature, come Isolast® PureFab® JPF50 e JPF58, possono funzionare in modo continuativo a temperature fino a +300 °C/+590 °F.
  • Quali sono i vantaggi degli elastomeri privi di tensioattivi fluorurati nella produzione di semiconduttori?
    Gli elastomeri privi di tensioattivi fluorurati offrono vantaggi fondamentali nella produzione di semiconduttori, garantendo elevata purezza, bassa contaminazione e prestazioni di processo costanti. Grazie all’eliminazione dei tensioattivi fluorurati, questi materiali sono conformi alle richieste normative in continuo sviluppo, pur mantenendo un’eccellente resistenza chimica, stabilità termica e durata. Ciò li rende ideali per i processi di produzione avanzati di semiconduttori, dove la pulizia e l’affidabilità dei materiali sono essenziali.
  • In quali apparecchiature per semiconduttori vengono utilizzati gli elastomeri privi di tensioattivi fluorurati?
    Gli elastomeri privi di tensioattivi fluorurati vengono utilizzati in un’ampia gamma di apparecchiature per semiconduttori, tra cui sistemi di deposizione e incisione, camere a vuoto, sistemi di erogazione del gas e moduli di trasferimento. Garantiscono prestazioni di tenuta affidabili in ambienti esposti a sostanze chimiche aggressive, elevate temperature e condizioni di vuoto, contribuendo a mantenere processi di produzione stabili e a elevata purezza.
* Per «materiali privi di tensioattivi fluorurati» si intende che i tensioattivi fluorurati PFAS non vengono utilizzati intenzionalmente. Per quanto a nostra conoscenza e sulla base delle informazioni disponibili, questi materiali non contengono tensioattivi fluorurati PFAS. Tuttavia, non è possibile garantire che non possano contenere tracce di tensioattivi fluorurati PFAS presenti in modo non intenzionale.
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