contactusurl /cs-CZ/seals/Search Žádné výsledky Animation is not fully supported in Internet Explorer versions item found items found položek položek z Vyhledat & Pomoc Zobrazeno Hledáte toto? Your Browser is outdated Prodejce Distributor Official Dealer Premium Partner adresy adresy položek Regulatory Press Release,Regulatory press releases only EG. Food Hoses conformity evolution Webinar Selector Button
Is Required.
decodedHtml

Materiály nové generace bez fluorovaných povrchově aktivních látek pro těsnění v polovodičovém průmyslu

Společnost Trelleborg Sealing Solutions se věnuje podpoře polovodičového průmyslu prostřednictvím inovativních a spolehlivých těsnění. Vzhledem k vývoji předpisů je naše řada produktů PureFab® bez fluorovaných povrchově aktivních látek navržena tak, aby Vám pomohla snížit regulační rizika a posílit Váš dodavatelský řetězec.

Tyto pokročilé materiály, které jsou speciálně vyvinuty pro náročné podmínky, jsou vyráběny bez fluorovaných povrchově aktivních látek a umožňují tak přechod na řešení s nižším dopadem na životní prostředí a zároveň nabízejí výjimečný těsnicí výkon s vysokou čistotou.
Product Page Webinar Registration_PureFab® Fluorosurfactant-Free Materials

Webový seminář o materiálech PureFab® bez fluorosurfaktantů

Odborníci společnosti Trelleborg Sealing Solutions představují elastomery bez fluorosurfaktantů pro polovodičové aplikace a ukazují jejich přínos pro zvýšení spolehlivosti v náročných procesech.
Vraťte se brzy a zaregistrujte se na webový seminář o materiálech PureFab® bez fluorosurfaktantů

Isolast® PureFab® JPF50

Vysoce čistý FFKM pro polovodičové aplikace
Isolast® PureFab® JPF50 je vysoce čistý perfluoroelastomer (FFKM) vyvinutý tak, aby splňoval přísné požadavky na čistotu a odolnost vůči plazmě v pokročilých výrobních procesech polovodičů. Je vyráběn bez plniv a fluorosurfaktantů, což snižuje dopad na životní prostředí, prodlužuje životnost a zvyšuje výtěžnost.
Isolast® PureFab® JPF11 JPF50 1
Vlastnosti a výhody Isolast® PureFab® JPF50:
  • Vyráběn bez fluorosurfaktantů, což pomáhá snižovat dopad na životní prostředí
  • Poskytuje vynikající odolnost proti plazmě v různých chemických prostředích a proti nejběžnějším prekurzorům tenkých vrstev, čímž dochází k prodloužení životnosti těsnění
  • Pomáhá snižovat riziko kontaminace a maximalizovat výtěžnost díky extrémně nízkému uvolňování plynů a minimální emisi částic
  • Vynikající výkon při vysokých teplotách, s odolností až do +300 °C/+572 °F, čímž zajišťuje spolehlivé těsnění v nejnáročnějších prostředích
  • Má nízkou trvalou deformaci a robustní mechanickou pevností, což umožňuje delší intervaly mezi údržbami a pomáhá minimalizovat neplánované prostoje
Příklady použití:
  • Těsnění a komponenty v procesech depozice (PECVD, HDPCVD, PEALD) a leptání (ALE, suché leptání)
  • Těsnění víka komory a přívodu plynu
  • Lepené těsnění dvířek štěrbinového ventilu
Stáhněte si brožuru Isolast® PureFab® JPF50

Isolast® PureFab® JPF58

Vysokoteplotní FFKM pro polovodičové aplikace
Isolast_Purefab_JPF41 JPF42 JPF44 JPF58 01
Isolast® PureFab® JPF58 je tepelně odolný FFKM vyvinutý pro nepřetržitý provoz v nejnáročnějších teplotních podmínkách, kde je nezbytná dlouhodobá tepelná stabilita a čistota. Je vyráběn bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což pomáhá snižovat dopad na životní prostředí a zároveň poskytuje čistotu a spolehlivý výkon v náročných polovodičových aplikacích, čímž prodlužuje životnost.
Vlastnosti a výhody Isolast® PureFab® JPF58:
  • Vyrobeno bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což pomáhá snižovat dopad na životní prostředí
  • Poskytuje výjimečnou tepelnou stabilitu, pracuje při teplotách až do +300 °C/+590 °F a zajišťuje konzistentní integritu těsnění při dlouhodobém používání
  • Odolává praskání při vystavení vysokému mechanickému a tepelnému namáhání, což přispívá k delší životnosti
  • Odolává agresivním procesním a spalinovým plynům a poskytuje osvědčenou spolehlivost v náročných polovodičových aplikacích
  • Zachovává rozměrovou stabilitu během nepřetržitého provozu při vysokém zatížení a zvýšených teplotách

Příklady použití:
  • Těsnění a komponenty v procesech s vysokými teplotami, včetně RTP, ALD, CVD a difúzních pecí
  • Těsnění křemenných trubic, přetlakových komor a dvířek pecí
  • Příruby pro připojení spalinových a vakuových systémů a centrovací kroužky
Stáhněte si brožuru k produktu Isolast® PureFab® JPF58

PureFab® VPF20

Vysoce čistý FKM pro těsnění v polovodičovém průmyslu
PureFab® VPF20 je vysoce čistý fluoroelastomer (FKM) vyvinutý bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což snižuje dopad na životní prostředí a zároveň umožňuje výrobu bez kontaminace. Je navržen tak, aby splňoval přísné požadavky výroby polovodičů a plochých displejů, a kombinuje základní polymer bez fluorovaných povrchově aktivních látek se systémem vysoce čistých syntetických plniv, čímž poskytuje výjimečný výkon a spolehlivost v aplikacích s vysokými nároky na čistotu.
PureFab® VPF20 1
Vlastnosti a výhody PureFab® VPF20:
  • Vyrobeno bez fluorovaných povrchově aktivních látek, což pomáhá snížit dopad na životní prostředí
  • Vysoce čistá směs FKM se syntetickými plnivy, která pomáhá minimalizovat kovové kontaminanty a iontově extrahovatelné látky
  • Ve srovnání se standardními materiály FKM nabízí větší mechanickou pevnost a nižší trvalou deformaci a díky tomu vykazují ve statických i dynamických těsnicích aplikacích delší životnost
  • Prokazuje vysokou chemickou odolnost vůči klíčovým chemikáliím používaným v polovodičových procesech
  • Nabízí nákladově efektivnější alternativu než FFKM pro aplikace s mírnými teplotami a středními chemickými nároky
Příklady použití:
  • Těsnění v přenosových modulech, vstupních/výstupních komorách, v předních modulech zařízení - EFEM (Equipment Front End Module) a vakuových manipulačních systémech
  • Vakuová těsnění pro všeobecné použití a zařízení na výrobu plochých displejů
  • Aplikace, kde je rozhodující čistota a kde standardní černé FKM představují riziko kontaminace
Stáhněte si brožuru PureFab® VPF20

Odborné znalosti v oblasti těsnění pro výrobu polovodičů

Společnost Trelleborg Sealing Solutions využívá desítky let zkušeností s materiály a aplikacemi určenými k poskytování vysoce výkonných těsnicích řešení pro výrobu polovodičů. Vyvíjíme inovativní, vysoce přesné polymerní technologie, které zajišťují spolehlivost, zlepšují čistotu procesů a snižují prostoje zařízení v nejnáročnějších prostředích.
AdobeStock_499684822

Těsnicí řešení pro polovodičový průmysl

Objevte naše vysoce výkonné těsnicí technologie navržené tak, aby zajišťovaly čistotu, chemickou kompatibilitu a dlouhodobou životnost v polovodičových aplikacích.
Seznamte se s našimi odbornými znalostmi v oblasti těsnění pro výrobu polovodičů
Isolast® PureFab O-Rings

Produkty a technické možnosti

Prohlédněte si naše portfolio pokročilých těsnicích produktů a technických řešení navržených tak, aby obstála v náročných podmínkách polovodičového průmyslu.
Prozkoumejte naše produkty a řešení pro těsnění v polovodičovém průmyslu
Isolast® PureFab™ FFKM

Isolast® PureFab® FFKM

Objevte materiály Isolast® PureFab®, které byly speciálně vyvinuty pro těsnění v polovodičovém průmyslu a poskytují vynikající těsnicí vlastnosti s vysokou úrovní čistoty v pokročilých výrobních procesech.
Prozkoumejte naše materiály Isolast® PureFab® FFKM

Technické otázky a odpovědi

  • Jsou materiály bez fluorosurfaktantů stejně účinné jako standardní elastomery?
    Ano, materiály bez fluorosurfaktantů vykazují výjimečný těsnicí výkon zejména v aplikacích vyžadujících vysokou čistotou. Nabízejí vynikající odolnost proti plazmě, tepelnou stabilitu, chemickou kompatibilitu a hlavně neobsahují škodlivá aditiva.
  • Jaká je maximální teplotní mez pro materiály PureFab® bez fluorosurfaktantů?
    Vysokoteplotní typy FFKM, jako jsou Isolast® PureFab® JPF50 a JPF58, mohou nepřetržitě fungovat při teplotách až do +300 °C/+590 °F.
  • Jaké jsou výhody elastomerů bez fluorosurfaktantů při výrobě polovodičů?
    Elastomery bez fluorosurfaktantů nabízejí klíčové výhody při výrobě polovodičů, protože podporují vysokou čistotu, nízkou kontaminaci a stabilní výkon procesu. Díky eliminaci fluorosurfaktantů tyto materiály splňují měnící se regulační požadavky a zároveň si zachovávají vynikající chemickou odolnost, tepelnou stabilitu a trvanlivost. To z nich činí ideální volbu pro pokročilé polovodičové procesy, kde je čistota a spolehlivost materiálu zásadní.
  • Kde se v zařízeních na výrobu polovodičů používají elastomery bez fluorosurfaktantů?
    Elastomery bez fluorových povrchově aktivních látek se používají v celé řadě polovodičových výrobních zařízení, včetně systémů pro nanášení a leptání, vakuových komor, systémů pro přívod plynu a přenosových modulů. Poskytují spolehlivé těsnicí vlastnosti v prostředích vystavených agresivním chemikáliím, vysokým teplotám a vakuovým podmínkám, čímž pomáhají udržovat stabilní a vysoce čisté výrobní procesy.
* Materiály bez fluorovaných povrchově aktivních látek znamenají, že fluorované povrchově aktivní látky PFAS nejsou používány záměrně. Podle našich nejlepších znalostí a na základě dostupných informací tyto materiály neobsahují fluorované povrchově aktivní látky PFAS. Nelze však zaručit, že by tyto materiály neobsahovaly stopové množství fluorovaných povrchově aktivních látek PFAS, které se v nich vyskytují neúmyslně.
Zobrazit více
Zobrazit méně