高性能フルオロエラストマー

半導体用途に適した材料の選定は、コストと性能のバランスを取り、総所有コスト（TCO）を最適化することが重要となります。

プロセスで使用される化学薬品の腐食性が比較的低い場合には、当社のフルオロエラストマー（FKM）シール材が優れた真空保持性能を発揮します。これらの材料は、酸素（O₂）および水蒸気（H₂O）の透過率が非常に低く、アウトガスも極めて低いという特長を備えています。

レジフロー PureFab® シリーズは、プレミアムグレードの高性能フルオロエラストマー材です。ポリマー構造を改良し 、低トレース金属含有量を実現することで、極めて高いクリーン性を発揮します。

製品:

• O-リング
• ウェーハ搬送用途向けシールを含む、ゴム-金属およびゴム-樹脂接合のカスタム設計品
• FlexiMold® 大径一体型シール(継ぎ目なし)
• センタリング用シール(NW、KF、 ISO規格)