Isolast®(イソラスト) PureFab® FFKM

Isolast® （イソラスト）PureFab® シリーズは、成膜、エッチング、アッシング／ストリップ、プラズマ洗浄、ALDなどの過酷な前工程において、優れた性能を発揮します。

Isolast®(イソラスト) PureFab® シリーズは、先端のパーフルロロエラストマー（FFKM）を使用しており、高温安定性、高純度、極めて低い金属溶出、そして卓越した耐プラズマ性といった、優れた特性を備えています。
これにより、パーティクルの発生を抑え、高真空環境下でのアウトガスを極限レベルまで低減できるため、お客様はメンテナンスサイクルを延長し、プロセスの歩留まりを大きく高めることが可能になります。

製品の純度を確保するため、すべての Isolast®(イソラスト) PureFab® シールは、クラス100（ISO5）準拠のクリーンルーム環境で製造・包装されています。

トレルボルグ シーリング ソリューションズは、プロセス薬品、装置の設置場所、ツールの複雑性に応じて最適化された、独自かつ厳選された材料ポートフォリオを提供しています:

• lsolast® （イソラスト）PureFab® JPF10:
  • 完全有機材の材料
  • 高純度
  • フッ素および酸素ラジカルプラズマへの優れた耐性
  • パーティクルの発生が極めて少ない
  • ＋300℃を超える高温環境下での安定性
  • 蒸気やアミンを含む薬品に対する優れた耐薬品性
  • ドライエッチング、ストリッピング、リモートプラズマ洗浄などのプロセスに適応

• lsolast® （イソラスト）PureFab® JPF20:
  • ナノレベルの先進のフィラーシステムにより、パーティクルの発生を最小レベルに抑制
  • 腐食性の高いイオンやラジカルプラズマへの優れた耐性
  • ＋320℃までの優れた高温安定性
  • 最高レベルのプラズマ耐性が求められるすべてのエッチングプロセスおよび重要な装置部位での使用に適しています

• Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF21:
  • 独自のフィラーにより、酸素プラズマに対する優れた耐性と寸法安定性を実現
  • NF₃ プラズマ環境下でのパーティクル発生を最小レベルに抑制
  • ＋300℃を超える高温下でも長期間にわたり優れたシール保持力を維持し、シール寿命を延長
  • エッチング、成膜、拡散などの各種プロセスに適応

• Isolast® （イソラスト）PureFab® JPF30:
  • フィラーを含まない、半透明で極めて高純度な材料
  • 金属溶出が極めて低い
  • 他社の半透明材料と比較しても、＋300℃を超える温度域で優れた熱安定性を発揮
  • アッシングやストリッピング工程、ならびに低い押し付け力が求められる用途に最適 

その他のIsolast®(イソラスト) PureFab®シリーズ:

• Isolast® （イソラスト）PureFab® J9675:
• 優れた復元性を備えた完全有機材の材料
• アウトガスが極めて低いため、先端ノードのフォトリソグラフィー工程に対応
• アウトガス特性が重要視される制振用途にも適した材料


• Isolast® （イソラスト）PureFab® J9685:
  • 優れた耐熱性
  • 非常に低い圧縮永久歪み
  • ＋325℃までの高温熱プロセスに対応
  • 原子層堆積（ALD）、酸化／拡散などの熱プロセスに適した材料 

• Isolast® （イソラスト）PureFab® J9610:
  • ウェットプロセス用途における優れた耐薬品性
  • 腐食性の高いウェットプロセス薬品中でも極めて低い抽出物量
  • CMP、ECD、ウェットエッチングなどの用途に適した材料

製品:

• O-リング
• 特殊設計製品；例 ウェハー搬送部など、ゴムー金属またはゴムー樹脂の接合製品
• 繋ぎ加工の必要ない大口径O-リング（FlexiMold®）
• 継手用シール(NW、KF、ISO規格)