熱可塑性樹脂とコンポジット材

エンジニアード熱可塑性樹脂

高性能なエンジニアード熱可塑性樹脂は、PEEK（ポリエーテルエーテルケトン）やポリイミドといった材料を用いた、 革新的なソリューションを提供しています。これらの材料は、高温環境下での使用に耐え、優れた耐薬品性および耐プラズマ性を発揮するとともに、静電気制御性や低アウトガス特性にも優れています。

これらは、半導体分野において、特にウェーハ搬送や、高い寸法安定性と低発塵性が求められる部品加工工程などで実績を上げています。その一例として、CMP用途向けの、PEEKを用いて設計・成形・機械加工を行ったカスタムメイドのリテーナーリングが挙げられます。

高機能コンポジット材

トレルボルグ シーリング ソリューションズは、高機能コンポジット製品およびコンポジット部品製造用オートメーション装置の設計・製造において世界的なリーディングカンパニーです。
コンポジット材料は、高い強度と軽量性を兼ね備えているため、半導体プロセスにおける構造部材として適しています。円筒、円錐、ボックスビーム、Iビーム、コイル、フラットラミネート、さらには複雑な形状まで、多様な形状・サイズに対応したカスタムメイド製品として提供しています。