Webový seminář – Isolast® PureFab® FFKM
Portfolio materiálů Isolast® PureFab®
Isolast® PureFab® JPF10
Plně organický materiál pro náročné aplikace při vysokých teplotách
• Plně organická struktura
• Vysoká čistota
• Vynikající odolnost vůči reaktivnímu fluoru a kyslíku generované plazmou
• Nízké uvolňování částic
• Stabilita při vysokých teplotách nad +300°C
• Vynikající chemická odolnost, mimo jiné i vůči páře a aminům
• Vhodný pro použití v procesech, které zahrnují suché leptání, odstraňování rezistu a při čištění pomocí plazmy
Isolast® PureFab® JPF20
• Zdokonalený systém plnění nanočásticemi a minimálním uvolňováním částic
• Maximální odolnost vůči agresivním iontům a radikálům v plazmové chemii
• Vynikající stabilita při vysokých teplotách do +320°C
• Vhodný pro použití ve všech procesech leptání a v kritických oblastí nástrojů, kde je vyžadována extrémní odolnost vůči plazmě
Přečíst více
Isolast® PureFab® JPF21
• Materiál s patentově chráněným plněním poskytuje vynikající odolnost vůči kyslíkové plazmě a garantuje rozměrovou stabilitu
• Minimální částice v plazmě za použití NF3
• Prodlužuje životnost těsnicích prvků díky jeho vynikající tvarové paměti garantující zachování těsnicí síly i při dlouhodobém působení teplot nad +300°C
• Vhodný pro použití v procesech leptání, nanášení a difuze
Přečíst více
Isolast® PureFab® JPF22
Vynikající chemická kompatibilita pro širokou škálu polovodičových aplikací
- Zesilující syntetický systém plniv maximalizuje mechanické vlastnosti
- Extrémně nízký obsah vyluhovatelných látek dle SEMI F40/F57
- Vynikající odolnost vůči agresivním chemikáliím na bázi aminů
- Nízký obsah stopových kovů vedoucí k vysoké výtěžnosti procesu
- Vynikající chemická kompatibilita s běžnými suchými provozními plyny v méně kritických procesech
- Minimální tvorba částic a úbytek hmotnosti při vystavení široké škále plazmových technologických plynů
Isolast® PureFab® JPF30
• Průsvitný materiál bez plniv a extrémně vysokou čistotou
• Extrémně nízký obsah stopových kovů
• Bezkonkurenčně nejlepší tepelná stabilita ve srovnání s konkurenčními průsvitnými materiály a to i při teplotě +300°C
• Vhodný pro použití v procesech spalování a odsávání a rovněž v aplikacích vyžadujících nízkou těsnicí sílu
Přečíst více
Isolast® PureFab® JPF40
Perfluorelastomer určený pro ultravysoké teploty v náročných Subfab aplikacích
- Jedinečná chemie křížových vazeb poskytuje nízkou kompresní setrvačnost po dlouhou dobu, což zajišťuje integritu těsnění
- Bezkonkurenční tepelná stabilita až do +327°C/+620°F
- Nízké vlastnosti odplyňování
- Velmi nízká kontaminace stopovými kovy ve srovnání s jinými vysokoteplotními černými FFKM materiály
- Vynikající chemická kompatibilita s běžnými suchými procesními plyny
- Minimální tvorba částic a úbytek hmotnosti při vystavení široké škále plazmových technologických plynů
Zjistěte více
Naše celé portfolio výrobků PureFab®
Isolast® PureFab® – mimořádně vysoká čistota a účinné utěsnění plazmy v kritických aplikacích polovodičového průmyslu
Těsnění v polovodičovém průmyslu
Prozkoumejte těsnicí řešení navržená tak, aby vyhovovala specifickým potřebám tohoto průmyslového odvětví
