Инженерни възможности за уплътняване на полупроводници на изложението Semicon Europa 2023
Крис Бъзби, мениджър на сегмента за полупроводници в Trelleborg Sealing Solutions, казва: "При все по-екстремните температури и по-агресивните химически прекурсори, използвани в средата на полупроводниците, надеждните уплътнителни решения са от съществено значение за предотвратяване на преждевременни повреди. На изложението Semicon Europa ще представим най-новите попълнения в нашето портфолио за полупроводници, специално разработени за справяне с тези предизвикателства.
"Трелеборг" предлага на клиентите първокласни инженерни възможности за разработване на правилните индивидуални решения за днешните все по-екстремни производствени и подпроизводствени среди, включително уникалната възможност за моделиране на данните за набора от компресии с помощта на анализ на крайни елементи. Тази съществена промяна в технологията позволява на инженерите да прогнозират по-точно експлоатационния живот на уплътненията, докато проектират и произвеждат крайни продукти."
Isolast® PureFab™ - максимално увеличаване на времето за работа на системата при усъвършенствани полупроводникови процеси
Trelleborg ще представи най-новите попълнения в обширната гама Isolast® PureFab™, включително JPF40, свръхвисокотемпературен перфлуороеластомер (FFKM), разработен за взискателни приложения в подстанциите и термични процеси, включително бърза термична обработка (RTP), отлагане на атомен слой (ALD) и окисление. Той предлага ненадминати характеристики на компресиране при работни температури от +200 °C/+392 °F до +300 °C/+552 °F. Това гарантира целостта на уплътнението при критични процеси, като издържа на максимални температури на приложение над +325 °C/+617 °F - най-високата температурна способност на еластомерен материал.
Isolast® PureFab™ JPF10 е перфлуороеластомер с напълно органична формула за използване в най-критичните процеси в полупроводниците. Той предлага отлична цялост на вакуума при агресивни технологични условия и температури над +300 °C/+572 °F, както и изключителна плазмена устойчивост в широк спектър от технологични газове, включително NF3. Ниското ниво на генериране на частици и отличните характеристики на изпускане на газове означават, че Isolast® PureFabTM JPF10 може да увеличи производителността на процесите и да намали общите разходи за притежание на полупроводниковите процеси.
>>Вижте повече за гамата Isolast® PureFab™
Иновативни надуваеми уплътнения за достъп до инсталации, контейнери и помещения
Представена е и гамата Airseal от надуваеми тръбни еластомерни уплътнения, активирани чрез вътрешно налягане с въздух, вода или други среди, които се отличават с отлични качества при уплътняване на достъпа до инсталации, контейнери и помещения. Уплътненията Airseal представляват технически усъвършенствана алтернатива на стандартните уплътнения с контактно налягане и могат лесно да бъдат адаптирани към съвпадащата повърхност.
Гамата Airseal включва уникални надуваеми уплътнения за термична обработка, изработени от висококачествени материали от EPDM и силиконов каучук за товарни брави и врати за достъп в усъвършенствани вертикални термични процесори. Уплътненията са устойчиви както на вакуум, така и на положително налягане, като заместват традиционните плоски уплътнения и О-пръстени, опростяват апаратурата и ускоряват цялостната операция по обработка.
Надуваемото уплътнение/клема на Airseal Load Lock е уникално уплътнение, изработено от бутилов каучук с ниско ниво на газоотделяне и е доказано за работа във вакуум. То осигурява високоефективно и повтарящо се уплътняване в патентованата секция за вакуумно заключване на товара на напълно автоматизирана метрологична система с електронен лъч, използвана за измерване на субмикронни критични размери и за визуализация на интегрални схеми. Със своята уникална комбинация от автоматизация, прецизност на измерването и висока производителност системата отговаря и надхвърля нуждите за контрол на процесите в модерното производство на полупроводници. Тя опростява хардуера, необходим за постигане на уплътнение във вакуум, и ускорява процеса на вземане на пластината, зареждането ѝ в ключалката и извършването на критични измервания на нейната повърхност и веригата.
Решения за уплътняване за най-взискателните среди
Фланцовото уплътнение Isolast® K-Fab™ за критични приложения в подстанциите е температурно устойчиво за използване до +327 °C/+620 °F в зависимост от избора на материал. То може да бъде произведено от редица еластомерни материали, включително Isolast® FFKM, Isolast® PureFab™ FFKM, PureFab™ флуороеластомер (FKM) за свръхвисока чистота и стандартен FKM, и е подходящо за комбинация с алуминий и неръждаема стомана.
Sealing Solutions for the most demanding environments
Уплътнението за фланец Isolast® K-Fab™ за критични приложения в подплощадките е устойчиво на температура до +327 °C/+620 °F в зависимост от избора на материал. То може да бъде произведено от редица еластомерни материали, включително Isolast® FFKM, Isolast® PureFab™ FFKM, PureFab™ флуороеластомер (FKM) за свръхвисока чистота и стандартен FKM, и е подходящо за комбинация с алуминий и неръждаема стомана.