Semiconductor Sealing Range Engineering-kapaciteter på Semicon Europa 2023
Chris Busby, Semiconductor Segment Manager, Trelleborg Sealing Solutions, siger: "Med de stadigt mere ekstreme temperaturer og mere aggressive kemiske stoffer, der bruges i halvledermiljøer, er pålidelige tætningsløsninger afgørende for at forhindre for tidlige svigt. På Semicon Europa vil vi præsentere de seneste tilføjelser til vores halvlederportefølje, som er specielt udviklet til at håndtere disse udfordringer.
"Trelleborg tilbyder kunderne førsteklasses tekniske muligheder for at udvikle de rigtige tilpassede løsninger til nutidens stadig mere ekstreme fab- og sub-fab-miljøer, herunder den unikke mulighed for at modellere kompressionsdata ved hjælp af finite element-analyse. Denne trinvise ændring i teknologien gør det muligt for ingeniører at forudsige tætningernes brugbare levetid mere præcist, når de designer og fremstiller færdige produkter."
Isolast® PureFab™ - maksimerer systemets oppetid i avancerede halvlederprocesser
Trelleborg vil fremvise de seneste tilføjelser til det omfattende Isolast® PureFab™-sortiment, herunder JPF40, en ultrahøjtemperatur-perfluorelastomer (FFKM), der er udviklet til krævende subfab-applikationer og termiske processer, herunder hurtig termisk behandling (RTP), atomar lagaflejring (ALD) og oxidation. Den tilbyder uovertruffen kompressionssæt-ydelse ved driftstemperaturer fra +200 °C/+392 °F til +300 °C/+552 °F. Det sikrer tætningsintegritet i kritiske processer og modstår maksimale anvendelsestemperaturer på over +325 °C/+617 °F, hvilket er den højeste temperaturkapacitet for et elastomermateriale.
Isolast® PureFab™ JPF22 er en fremragende allround FFKM-tætning med overlegen kemisk kompatibilitet, der er velegnet til en lang række halvlederanvendelser. Materialet har fremragende modstandsdygtighed over for våde proceskemikalier og damp samt aminbaserede ALD-forstadier.
Isolast® PureFab™ JPF10 er en perfluorelastomer med en fuldt organisk formulering til brug i de mest kritiske halvlederprocesser. Den giver fremragende vakuumintegritet under aggressive procesforhold og temperaturer over +300 °C/+572 °F, samt fremragende plasmabestandighed i en lang række procesgasser, herunder NF3. Lav partikelgenerering og fremragende afgasningsevne betyder, at Isolast® PureFabTM JPF10 kan øge procesudbyttet og sænke de samlede ejeromkostninger for halvlederprocesser.
>>Find ud af mere om Isolast® PureFab™-serien
Innovative oppustelige tætninger til adgang til anlæg, containere og rum
Airseal-serien af oppustelige rørformede elastomertætninger, der aktiveres af indvendigt tryk med luft, vand eller andre medier, og som udmærker sig ved at forsegle adgang til anlæg, containere og rum, vises også frem. Airseals er et teknisk forbedret alternativ til standard kontakttrykstætninger og kan nemt tilpasses, så de passer til den pågældende overflade.
Airseal-serien omfatter unikke oppustelige tætninger til termisk behandling fremstillet af EPDM- og silikonegummimaterialer af høj kvalitet til lastlåse og adgangsdøre i avancerede vertikale termiske processorer. Tætningerne modstår både vakuum og overtryk og erstatter traditionelle flade pakninger og O-ringe, hvilket forenkler hardwaren og fremskynder den samlede procesoperation.
Airseal Load Lock Inflatable Seal/Clamp er en unik tætning lavet af butylgummi med lav afgasning og er dokumenteret til vakuumservice. Den giver en meget effektiv og repeterbar forsegling i den patenterede vakuum-loadlock-sektion i et fuldautomatisk elektronstråle-metrologisystem, der bruges til sub-mikron kritisk dimensionsmåling og billeddannelse af integrerede kredsløb. Med sin unikke blanding af automatisering, målepræcision og høj gennemstrømning opfylder og overgår systemet proceskontrolbehovene i avanceret halvlederproduktion. Det forenkler den hardware, der er nødvendig for at opnå en forsegling i vakuum, og fremskynder processen med at tage en wafer, lægge den i låsen og foretage kritiske målinger af dens overflade og dens kredsløb.
Forseglingsløsninger til de mest krævende miljøer
Isolast® K-Fab™ Flange Seal til kritiske subfab-applikationer er temperaturbestandig til brug op til +327 °C/+620 °F afhængig af materialevalg. Den kan fremstilles af en række elastomermaterialer, herunder Isolast® FFKM, Isolast® PureFab™ FFKM, PureFab™ Fluoroelastomer (FKM) til ultrahøj renhed og standard FKM, og den er velegnet til kombination med både aluminium og rustfrit stål.
>>Find ud af mere om Isolast® K-Fab™ flangetætning
Derudover fremviser Trelleborg Turcon® Variseal® NW, som er en del af Variseal®-serien af fjederaktiverede tætninger, der er gennemprøvet i ekstreme gas- og væskehåndteringssituationer, herunder højvakuum og korrosive miljøer. Turcon®-flangetætningen har en aktiveringsfjeder, der forhindrer kontakt mellem fjederen eller fjederhulrummet og systemmediet. Den fungerer i ekstreme temperaturer fra -253 °C/-423 °F til +260 °C/+500 °F, er vakuumkompatibel i luft til 10-9 mbar/l/s og har fremragende slid- og friktionsegenskaber. Den er kompatibel med stort set alle medier og gasser, herunder fluor ved høje temperaturer, og fås i specialstørrelser og standardmål med nem eftermontering af nuværende NW- og KF-elastomertætninger.
>>Find ud af mere om Turcon® Variseal® NW
Reducerer friktion med en nanoskala-behandling
Der er også Seal-Glide®, Trelleborgs overfladebehandling på nanoskala, som forbedrer friktionen og klæbeevnen for konventionelle belægninger. Den påføres gennem en innovativ proces og giver en finish, der er op til 50 gange tyndere end mange konventionelle belægninger. Teknikken muliggør også behandling af komponenter med komplekse geometrier og funktioner, såsom underskæringer, som ellers ville være umulige med lakbaserede belægninger. Selv efter at være blevet strakt, vender Seal-Glide® tilbage til en glat finish uden udbrud og bevarer sine forbedrede glideegenskaber. Seal-Glide® øger levetiden for det komplette tætningssystem, forbedrer montering og drift af produkter, har meget lav afgasning og partikelgenerering og forbedrer ydeevnen gennem betydelig reduktion af friktion og klæbrighed.
>>Find out more about Seal-Glide®
En trinvis ændring i modellering af tætningers levetid
Trelleborg vil også demonstrere sine omfattende og grundige tekniske kompetencer, herunder den unikke evne til at modellere elastomerers kompressionssæt for at forudsige tætningers levetid ved hjælp af finite element-analyse (FEA) for sine halvlederkunder. Denne tilgang gør det muligt for ingeniørerne at indsamle mere nøjagtige data om tætningens kompressionssæt sammenlignet med simuleringstests af kompressionssæt, som er industristandard, hvilket giver mulighed for mere nøjagtige forudsigelser om tætningens levetid. Vores omfattende evne til at samarbejde med kunder om at udvikle tilpassede tætninger til specifikke anvendelser vil også blive fremhævet.
>>Find ud af mere om Trelleborgs brede udvalg af løsninger til halvlederapplikationer