Khả năng kỹ thuật phạm vi niêm phong bán dẫn tại Semicon Europa 2023

Chris Busby, Giám đốc Phân khúc Bán dẫn, Trelleborg Sealing Solutions, cho biết: “Với nhiệt độ ngày càng khắc nghiệt và các tiền chất hóa học mạnh hơn được sử dụng trong môi trường bán dẫn, các giải pháp bịt kín đáng tin cậy là điều cần thiết để ngăn ngừa hỏng hóc sớm. Tại Semicon Europe, chúng tôi sẽ giới thiệu những bổ sung mới nhất cho danh mục chất bán dẫn của chúng tôi được thiết kế đặc biệt để giải quyết những thách thức này.

“Trelleborg cung cấp cho khách hàng các khả năng kỹ thuật cao cấp để phát triển các giải pháp tùy chỉnh phù hợp cho môi trường nhà máy và nhà máy phụ ngày càng khắc nghiệt ngày nay, bao gồm khả năng độc đáo để lập mô hình dữ liệu tập nén bằng cách sử dụng phân tích phần tử hữu hạn. Bước thay đổi công nghệ này cho phép các kỹ sư dự đoán tuổi thọ sử dụng của phớt chính xác hơn khi họ thiết kế và sản xuất thành phẩm.”

Isolast® PureFab™ - tối đa hóa thời gian hoạt động của hệ thống của các quy trình bán dẫn tiên tiến

Trelleborg sẽ giới thiệu những sản phẩm bổ sung mới nhất cho dòng Isolast® PureFab™ mở rộng, bao gồm JPF40, một perfluoroelastomer (FFKM) nhiệt độ cực cao được phát triển cho các ứng dụng subfab và quy trình nhiệt đòi hỏi khắt khe, bao gồm xử lý nhiệt nhanh (RTP), lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) và quá trình oxy hóa. Nó cung cấp hiệu suất nén vô song ở nhiệt độ vận hành từ +200 °C/+392 °F đến +300 °C/+552 °F. Điều này đảm bảo tính nguyên vẹn của lớp bịt kín cho các quy trình quan trọng, chịu được nhiệt độ ứng dụng cao nhất trên +325 °C/+617 °F, khả năng chịu nhiệt độ cao nhất của vật liệu đàn hồi.

Isolast® PureFab™ JPF22 là chất bịt kín FFKM toàn diện tuyệt vời với khả năng tương thích hóa học vượt trội, phù hợp với nhiều ứng dụng bán dẫn. Vật liệu này có khả năng chống chịu tuyệt vời với các hóa chất và hơi nước trong quá trình ướt cũng như các tiền chất ALD gốc amin.

Isolast® PureFab™ JPF10 là chất đàn hồi perfluoroelastomer có công thức hoàn toàn hữu cơ để sử dụng trong các quy trình bán dẫn quan trọng nhất. Nó mang lại tính toàn vẹn chân không tuyệt vời trong các điều kiện xử lý khắc nghiệt và nhiệt độ trên +300 °C/+572 °F, cũng như khả năng kháng plasma vượt trội trong nhiều loại khí xử lý bao gồm cả NF3. Khả năng tạo hạt thấp và hiệu suất thoát khí tuyệt vời có nghĩa là Isolast® PureFabTM JPF10 có thể tăng năng suất quy trình và giảm tổng chi phí sở hữu các quy trình bán dẫn.

>>>>Tìm hiểu thêm về dòng sản phẩm Isolast® PureFab™

Vòng đệm bơm hơi cải tiến để tiếp cận cây trồng, thùng chứa và phòng

Cũng được trưng bày là dòng sản phẩm đệm kín đàn hồi hình ống bơm hơi của Airseal được kích hoạt bằng áp suất bên trong với không khí, nước hoặc các phương tiện khác, có tính năng vượt trội trong việc bịt kín lối vào nhà máy, thùng chứa và phòng. Đệm kín khí là giải pháp thay thế được cải tiến về mặt kỹ thuật cho đệm kín tiếp xúc tiêu chuẩn và có thể dễ dàng điều chỉnh để phù hợp với bề mặt thảm.

Dòng sản phẩm Airseal bao gồm các Phớt bơm hơi xử lý nhiệt độc đáo được làm từ vật liệu cao su silicon và EPDM cao cấp dành cho khóa tải và cửa ra vào trong bộ xử lý nhiệt dọc tiên tiến. Các vòng đệm chống lại cả áp suất chân không và áp suất dương, thay thế các miếng đệm phẳng và vòng chữ O truyền thống, đơn giản hóa phần cứng và tăng tốc hoạt động xử lý tổng thể.

Vòng đệm/Kẹp bơm hơi có khóa tải Airseal là một vòng đệm độc đáo được làm bằng cao su butyl thoát khí thấp và đã được chứng minh cho dịch vụ chân không. Nó cung cấp khả năng bịt kín hiệu quả cao và có thể lặp lại trong phần khóa tải chân không đã được cấp bằng sáng chế của hệ thống đo lường chùm tia điện tử hoàn toàn tự động được sử dụng để đo kích thước tới hạn dưới micron và tạo ảnh mạch tích hợp. Với sự kết hợp độc đáo giữa tự động hóa, độ chính xác đo lường và thông lượng cao, hệ thống đáp ứng và vượt xa nhu cầu kiểm soát quy trình của ngành sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Nó đơn giản hóa phần cứng cần thiết để đạt được độ kín trong chân không và tăng tốc quá trình lấy tấm bán dẫn, nạp nó vào ổ khóa và thực hiện các phép đo quan trọng đối với bề mặt và mạch điện của nó.

Giải pháp niêm phong cho các môi trường đòi hỏi khắt khe nhất

Miếng đệm mặt bích Isolast® K-Fab™ dành cho các ứng dụng quan trọng của nhà máy phụ có khả năng chịu nhiệt độ sử dụng lên đến +327 °C/+620 °F tùy thuộc vào việc lựa chọn vật liệu. Nó có thể được sản xuất từ nhiều loại vật liệu đàn hồi bao gồm Isolast® FFKM, Isolast® PureFab™ FFKM, PureFab™ Fluoroelastomer (FKM) cho độ tinh khiết cực cao và FKM tiêu chuẩn, đồng thời phù hợp để kết hợp với cả nhôm và thép không gỉ.

>>Tìm hiểu thêm về Gioăng mặt bích Isolast® K-Fab™

Ngoài ra, Trelleborg còn trưng bày Turcon® Variseal® NW, một phần của dòng sản phẩm phớt chặn năng lượng lò xo Variseal® đã được chứng minh tại hiện trường trong các tình huống xử lý chất lỏng và khí khắc nghiệt, bao gồm cả môi trường chân không và ăn mòn cao. Vỏ phốt mặt bích Turcon® bao gồm một lò xo cấp điện giúp ngăn chặn sự tiếp xúc có thể xảy ra giữa lò xo hoặc khoang lò xo và phương tiện hệ thống. Nó hoạt động ở nhiệt độ khắc nghiệt từ -253 °C/-423 °F đến +260 °C/+500 °F, có khả năng hút chân không trong không khí ở áp suất 10-9 mbar/l/s và có đặc tính mài mòn và ma sát tuyệt vời. Tương thích với hầu như

>>>>Tìm hiểu thêm về Turcon® Variseal® NW

Giảm ma sát bằng phương pháp xử lý ở cấp độ nano

Ngoài ra còn có Seal-Glide®, phương pháp xử lý bề mặt có kích thước nano của Trelleborg giúp cải thiện hiệu suất ma sát và bám dính của các lớp phủ thông thường. Được áp dụng thông qua một quy trình cải tiến, nó mang đến lớp phủ hoàn thiện mỏng hơn tới 50 lần so với nhiều lớp phủ thông thường. Kỹ thuật này cũng cho phép xử lý các bộ phận có hình dạng và tính năng phức tạp, chẳng hạn như các đường cắt bên dưới, điều mà các lớp phủ gốc sơn mài không thể thực hiện được. Ngay cả sau khi bị kéo căng, Seal-Glide® vẫn trở lại trạng thái hoàn thiện mịn màng và không có vết nứt, duy trì đặc tính trượt được cải thiện. Seal-Glide® tăng tuổi thọ của hệ thống đệm kín hoàn chỉnh, tăng cường lắp ráp và vận hành sản phẩm, có lượng khí thoát ra và tạo hạt rất thấp, đồng thời cải thiện hiệu suất thông qua việc giảm đáng kể ma sát và độ dính.

>>Tìm hiểu thêm về Seal-Glide®

A step change in modeling seal longevity

Trelleborg cũng sẽ chứng minh khả năng kỹ thuật sâu rộng và nghiêm ngặt của mình, bao gồm khả năng độc đáo để lập mô hình bộ nén của chất đàn hồi để dự đoán tuổi thọ của con dấu bằng cách sử dụng phân tích phần tử hữu hạn (FEA) cho các khách hàng bán dẫn của mình. Cách tiếp cận này cho phép các kỹ sư thu thập dữ liệu bộ nén con dấu chính xác hơn so với các thử nghiệm bộ nén mô phỏng tiêu chuẩn ngành, cho phép dự đoán chính xác hơn về tuổi thọ của con dấu. Khả năng mở rộng của chúng tôi trong việc làm việc với khách hàng để phát triển các con dấu tùy chỉnh cho các ứng dụng cụ thể cũng sẽ được nêu bật.

>>Tìm hiểu thêm về lập mô hình dữ liệu bộ nén để dự đoán tuổi thọ con dấu bằng FEA

>>Tìm hiểu thêm về nhiều giải pháp đa dạng của Trelleborg dành cho ứng dụng bán dẫn