Turcon® Variseal®

經過在極端氣體和液體處理情況下的現場驗證，Turcon® Variseal® 彈簧密封件的多款密封件，特別適用於最嚴苛的半導體密封應用，包括高真空和腐蝕性環境。

Turcon® Variseal® NW 
這款法蘭密封件的 Turcon® 外殼包覆住彈簧，使彈簧與系統介質之間不可能有接觸。它是半導體應用的理想選擇，它可以在真空環境中成功運行，並在氟氣中得到驗證。

Turcon® Variseal® NW 密封件的特點： 

• 可在 -253 °C ~ +260 °C (-423 °F ~ +500 °F) 的極端溫度下運行
• 空氣中的真空能力 10-9 mbar/l/s
• 優異的耐磨損和低摩擦特性
• 幾乎與所有介質和氣體兼容，包括高溫下的氟氣
• 提供客製尺寸和標準尺寸，可輕鬆替換當前的 NW 橡膠密封件

Turcon® Variseal® PS™
這種高性能密封件採用基於 Turcon® PTFE 的密封體設計，並包含一個聚合物彈簧。藉由系統壓力，它可以在低壓下精確地為密封件提供密封力，同時保持高壓密封的完整性。Turcon® Variseal® PS™ 具有符合 SEMI 標準 F57-0301 的超低析出雜質和最少的釋氣，使其成為半導體濕式加工的理想選擇。

Turcon® Variseal® PS™ 密封件的特點： 

• 超低析出率和無釋氣
• 熱穩定性：-253 °C ~ +80 °C (-423 °F ~ +176 °F)
• 每 mm 密封件單位長度 = 5.3 x 10-8 mbar/l/s-1 (4.7 x 10-8 psi/in3/s-1)
• 優異的耐磨和低摩擦特性
• 與幾乎所有化學品相容
• 提供標準和客製密封設計

Turcon® Variseal® Ultra-Clean™
這種密封件提供最高的潔淨度，使其非常適用於以極為重視潔淨度的加工設備。在 Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ 的獨特設計中，密封件中的彈簧完全封閉在 Turcon® 外殼內。這意味著金屬析出物被完全排除，這是半導體製造中的一個重要因素，其中最微小的污染，都可能會破壞晶片的有效性。

Turcon® Variseal® Ultra-Clean™ 密封件的特點 

• 可在 -253 °C ~ +260 °C (-423 °F ~ +500 °F) 的極端溫度下運行
• 承受超過 100 bar / 1450 psi 的高壓
• 優異的耐磨和低摩擦特性
• 與幾乎所有化學品相容
• 適用於活塞、桿、端面旋轉、往復和靜態應用情況
• 易於替換到標準 AS-568 O-Ring 和 Variseal® 溝槽中