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Fluortensidfreie Dichtungswerkstoffe der nächsten Generation für die Halbleiterfertigung

Trelleborg Sealing Solutions unterstützt die Halbleiterindustrie mit innovativen und zuverlässigen Dichtungen. Angesichts sich weiterentwickelnder Vorschriften wurde unser fluortensidfreies PureFab® Portfolio entwickelt, um Ihnen dabei zu helfen, regulatorische Risiken zu reduzieren und Ihre Lieferkette zu stärken.

Diese speziell für anspruchsvolle Bedingungen entwickelten, hochmodernen Werkstoffe werden ohne Fluortenside hergestellt, um Ihnen den Übergang zu Lösungen mit geringeren Umweltauswirkungen zu erleichtern und gleichzeitig eine außergewöhnlich hohe Dichtungsleistung bei höchster Reinheit zu gewährleisten.

Isolast® PureFab® JPF50

Hochreines FFKM für Halbleiteranwendungen
Isolast® PureFab® JPF50 ist ein hochreines Perfluorelastomer (FFKM), das speziell entwickelt wurde, um die strengen Anforderungen an Reinheit und Plasmabeständigkeit in modernen Halbleiterfertigungsprozessen zu erfüllen. Es wird ohne Füllstoffe oder Fluortenside hergestellt, was die Umweltbelastung verringert, die Lebensdauer verlängert und die Ausbeute erhöht.
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Eigenschaften und Vorteile von Isolast® PureFab® JPF50:

  • Hergestellt ohne Fluortenside, um den ökologischen Fußabdruck zu verringern
  • Bietet hervorragende Plasmabeständigkeit gegenüber verschiedenen Chemikalien und den gängigsten Dünnschicht-Präkusoren und sorgt so für eine längere Lebensdauer der Dichtungen
  • Trägt durch extrem geringe Ausgasung und minimale Partikelemission dazu bei, Kontaminationsrisiken zu verringern und die Prozessausbeuten zu maximieren
  • Zeigt eine außergewöhnliche Leistungsfähigkeit bei hohen Temperaturen von bis zu +300 °C/+572 °F und gewährleistet so eine zuverlässige Abdichtung unter härtesten Umgebungsbedingungen
  • Entwickelt mit geringem Druckverformungsrest und hoher mechanischer Festigkeit, um längere Wartungsintervalle zu ermöglichen und ungeplante Ausfallzeiten zu minimieren
     
Anwendungsbeispiele:
  • Dichtungen und Komponenten in Abscheidungsverfahren (PECVD, HDPCVD, PEALD) und Ätzverfahren (ALE, Trockenätzen)
  • Dichtungen für Kammerdeckel und Gaseinlässe
  • Gebondete Slit-Valve-Door-Dichtungen
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Isolast® PureFab® JPF58

Hochtemperatur-FFKM für Halbleiteranwendungen
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Isolast® PureFab® JPF58 ist ein hitzebeständiges FFKM, das für den Dauerbetrieb in Umgebungen mit extremsten Temperaturen entwickelt wurde, in denen langfristige thermische Stabilität und Reinheit unerlässlich sind. Da es ohne Fluortenside hergestellt wird, trägt es zur Verringerung der Umweltbelastung bei und bietet gleichzeitig Reinheit und zuverlässige Leistung in anspruchsvollen Halbleiteranwendungen, um die Lebensdauer zu verlängern.
Merkmale und Vorteile von Isolast® PureFab® JPF58:
  • Wird ohne Fluortenside hergestellt, um den ökologischen Fußabdruck zu verringern
  • Bietet eine hohe Temperaturbeständigkeit bis zu +300 °C/+572 °F für eine konstante Dichtungsintegrität über eine längere Nutzungsdauer
  • Ist widerstandsfähig gegen Rissbildung bei hoher mechanischer und thermischer Beanspruchung und trägt so zu einer längeren Lebensdauer bei
  • Widersteht aggressiven Prozess- und Abgasen und bietet bewährte Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Halbleiteranwendungen
  • Behält seine Formstabilität während des Dauerbetriebs unter hoher Belastung und erhöhten Temperaturen.

Anwendungsbeispiele:
  • Dichtungen und Komponenten in Hochtemperaturprozessen wie RTP, ALD, CVD und Diffusionsöfen
  • Dichtungen für Quarzrohre, Plenum, Kammern und Ofentüren
  • Flansche und Zentrierringe für Abgas- und Vakuumanschlüsse
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PureFab® VPF20

Hochreines FKM für Halbleiterabdichtungen
PureFab® VPF20 ist ein hochreines Fluorelastomer (FKM), das ohne Fluortenside hergestellt wird, wodurch die Umweltbelastung reduziert und gleichzeitig eine kontaminationsarme Produktion gewährleistet wird. Es wurde entwickelt, um den strengen Anforderungen in der Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung gerecht zu werden, und kombiniert ein fluortensidfreies Basispolymer mit hochreinen synthetischen Füllstoffen, um in reinheitskritischen Anwendungen außergewöhnliche Leistung und Zuverlässigkeit zu bieten
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Merkmale und Vorteile von PureFab® VPF20:
  • Hergestellt ohne Fluortenside, um den ökologischen Fußabdruck zu verringern
  • Hochreine FKM-Formulierung mit synthetischen Füllstoffen zur Minimierung metallischer Verunreinigungen und ionischer Extrakte
  • Robuste mechanische Festigkeit und elastische Rückstellung sorgen im Vergleich zu Standard-FKM-Werkstoffen für eine höhere Lebensdauer sowohl bei statischen als auch bei dynamischen Dichtungsanwendungen
  • Hohe chemische Beständigkeit gegenüber wichtigen Chemikalien in Halbleiterprozessen
  • Kostengünstige Alternative zu FFKM für Anwendungen mit moderaten Temperaturen und mittleren chemischen Anforderungen
     
Anwendungsbeispiele:
  • Dichtungen in Transfermodulen, Lastschleusen, Equipment Front End Modules (EFEM) und Vakuumhandhabungssystemen
  • Allgemeine Vakuumabdichtungen und Fertigungsanlagen für Flachbildschirme
  • Reinheitskritische Anwendungen, bei denen herkömmliche schwarze FKM-Werkstoffe ein Kontaminationsrisiko darstellen
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Dichtungskompetenz für die Halbleiterfertigung

Trelleborg Sealing Solutions nutzt jahrzehntelanges Werkstoff- und Anwendungs-Know-how, um leistungsstarke Dichtungslösungen für die Halbleiterfertigung zu liefern. Wir entwickeln innovative, hochpräzise Polymertechnologien, die Zuverlässigkeit gewährleisten, die Prozessreinheit verbessern und Anlagenstillstandszeiten in den rauesten Umgebungen reduzieren.
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Dichtungen für die Halbleiterindustrie

Entdecken Sie unsere leistungsstarken Dichtungslösungen, die auf Reinheit, chemische Verträglichkeit und langfristige Haltbarkeit in Halbleiteranwendungen ausgelegt sind.  
Erfahren Sie mehr über unsere Dichtungskompetenz in der Halbleiterfertigung
Isolast® PureFab O-Rings

Produkte und Kompetenzen

Entdecken Sie unser Portfolio an hochmodernen Dichtungen und technischen Kompetenzen, die speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurden.
Entdecken Sie unsere Dichtungslösungen und -kompetenzen für die Halbleiterindustrie
Isolast® PureFab™ FFKM

Isolast® PureFab® FFKM

Entdecken Sie die Isolast® PureFab® Werkstoffe, die speziell für Dichtungsanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden und in der modernen Fertigung eine herausragende Dichtungsleistung bei höchster Reinheit bieten.
Entdecken Sie unsere Isolast® PureFab® FFKM-Werkstoffe

Technische Fragen und Antworten

  • Sind fluortensidfreie Werkstoffe genauso wirksam wie Standard-Elastomere?
    Ja, fluortensidfreie Werkstoffe bieten eine außergewöhnlich hohe Reinheit bei der Abdichtung. Sie zeichnen sich durch hervorragende Plasmabeständigkeit, thermische Stabilität und chemische Verträglichkeit aus, ohne dass schädliche Zusatzstoffe erforderlich sind.
  • Was ist die maximale Temperaturgrenze für fluortensidfreie PureFab® Werkstoffe?
    Hochtemperatur-FFKM-Typen wie Isolast® PureFab® JPF50 und JPF58 können dauerhaft bei Temperaturen von bis zu +300 °C/+572 °F eingesetzt werden.
  • Was sind die Vorteile von fluortensidfreien Elastomeren in der Halbleiterfertigung?
    Fluortensidfreie Elastomere bieten entscheidende Vorteile in der Halbleiterfertigung, da sie hohe Reinheit, geringe Kontamination und konsistente Prozessleistung gewährleisten. Durch den Verzicht auf Fluortenside entsprechen diese Werkstoffe den sich weiterentwickelnden regulatorischen Anforderungen und behalten gleichzeitig eine hervorragende chemische Beständigkeit, thermische Stabilität und Langlebigkeit bei. Dies macht sie ideal für moderne Halbleiterprozesse, bei denen Materialreinheit und Zuverlässigkeit von entscheidender Bedeutung sind.
  • Wo werden fluortensidfreie Elastomere in Halbleiteranlagen eingesetzt?
    Fluortensidfreie Elastomere kommen in einer Vielzahl von Halbleiteranlagen zum Einsatz, darunter Abscheidungs- und Ätzsysteme, Vakuumkammern, Gasversorgungssysteme und Transfermodule. Sie bieten zuverlässige Dichtungsleistung in Umgebungen, die aggressiven Chemikalien, hohen Temperaturen und Vakuumbedingungen ausgesetzt sind, und tragen so zur Aufrechterhaltung stabiler und hochreiner Fertigungsprozesse bei.
* Fluortensidfreie Werkstoffe bedeuten, dass PFAS-Fluortenside nicht absichtlich verwendet werden. Nach unserem besten Wissen und auf der Grundlage der verfügbaren Informationen enthalten diese Werkstoffe keine PFAS-Fluortenside. Es kann jedoch nicht garantiert werden, dass sie nicht Spuren von unbeabsichtigt vorkommenden PFAS-Fluortensiden enthalten.
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