為半導體應用選擇最佳材料通常是在成本和性能之間取得平衡,以實現最佳的整體擁有成本。
在製程中,化學品腐蝕性較小的部分,我們的氟化橡膠(FKM)材料可提供真空完整性,證實了 O2和 H2O 的滲透率非常低,並且排氣率也非常低。
這些材料適用於各種應用,例如:T/C(transfer chambers) 和 Subfab 應用。在這些應用中,真空完整性對於保持高產量至關重要
Resifluor™ PureFab™ 系列優質的氟化橡膠,具有改良的聚合物結構和低微量金屬含量,可提供卓越的潔淨度
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