特瑞堡將在 2022 年歐洲半導體展上展示兩種新的 Isolast® PureFab™ FFKM 材料
特瑞堡密封系統半導體部門總監 Chris Busby 表示：“隨著極端溫度和半導體環境中使用的腐蝕性化學越來越多，可靠的密封解決方案對於防止過早失效至關重要。 在 Semicon Europa，我們推出了 Isolast® PureFab™ 系列的兩個重要補充，專門設計用於應對關鍵半導體密封環境的挑戰。”
兩種新材料
Isolast® PureFab™ JPF40 是一種超高溫全氟橡膠 (FFKM)，專為嚴苛的晶圓廠應用和熱處理製程而開發，包括快速熱處理 (RTP)、原子層沉積 (ALD) 和氧化。 該材料在 +200 °C/+392 °F 至 +300 °C/+552 °F 的工作溫度下提供無與倫比的壓縮變形性能。 這確保了關鍵過程的密封完整性，可承受超過 +325 °C/+617 °F 的峰值應用溫度，這是彈性體材料的最高耐溫能力。
Isolast® PureFab™ JPF22 是一種出色的全能 FFKM 密封件，具有出色的化學相容性，適用於廣泛的半導體應用。 該材料對濕法化學品和蒸汽以及基於胺的 ALD 前體具有出色的耐受性。
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Isolast® K-Fab™ 密封件
此外，特瑞堡的參觀者將能夠發現其用於關鍵 subfab 應用的 Isolast® K-Fab™ 法蘭密封件 ，根據材料選擇，該密封件耐溫高達 +327 °C/+620 °F。 它適用於與鋁或不銹鋼組合，並適用於由一系列彈性體材料製造，包括 Isolast® FFKM、Isolast® PureFab™ FFKM、用於超高純度的 PureFab™ 氟橡膠 (FKM) 和標準 FKM。
關於 Semicon Europa 2022
Semicon Europa 是半導體技術的國際貿易展覽會，為期三天，主題為“為數據時代提供動力的芯片”。 它匯集了有遠見的人和專家，專注於智能移動、智能醫療技術、先進封裝、晶圓廠管理、材料和其他半導體行業增長驅動力等先進技術的創新，並將突出可持續發展、勞動力發展和整個行業的挑戰和機遇 供應鏈。
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