Gas Injector Seals

• 承受所有製程的氣體
• 高純度
• 長期可靠性

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF20
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Showerhead Seals

• 極高的耐電漿性
• 極高的純度
• 微量金屬含量低

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF20
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Chamber Lid Seals

• 超低微粒產生
• 極高的耐電漿性
• 一流的除氣性能

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF20
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Window/Viewport Seals

• 超低除氣性能
• 可選擇各種尺寸和形狀

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF22
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E-Chuck Seals

• 超低微粒產生
• 極高的耐電漿性
• 一流的純度

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF30
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Subfab Processes 廠務端製程

製程包括：真空泵和減排應用，需要密封件提供：

• 優異的耐高溫性能
• 出色的化學相容性
• 密封壽命長

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF21
Isolast® PureFab® JPF40
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Deposition Process 沉積製程

此過程需要密封件提供：

• 優異的除氣性能
• 適合與腐蝕性前體化學品一起使用
• 優異的熱穩定性
• 超高純度

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF21
Isolast® PureFab® JPF40
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Dry Etch Process 乾蝕刻製程

此過程需要密封件提供：

• 優異的耐電漿性
• 出色的抗電漿裂紋性能
• 低微粒產生
• 優異的純度

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF20
Isolast® PureFab® JPF30
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Isolast® K-Fab®

• 防呆安裝設計
  在安裝過程中，拼圖式的形狀將密封件固定在金屬殼上
• 耐高溫能力
  多種材料可選擇，可實現高達 +327 °C/+621 °F 的高溫應用
• 優越的密封性能
  壓縮時，拼圖式形狀的設計充當保持機構，並在壓縮時增加軸向密封力
• 使用壽命長
  雙向密封形狀提高了密封性能，尤其是在多變的壓力/真空情況下
• 沒有溢出或擠出問題
  與 O-Ring 相比，K-Fab® 的橡膠體積更少，可防止因熱膨脹而溢出和擠出的問題

適合材料：
Isolast® K-Fab® Flange Seal 了解有關 lsolast® PureFab® 的更多資訊

Slit Valve Doors

• 長期密封完整性
• 優異的耐電漿性
• 一流的除氣性能

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF20
Isolast® PureFab® JPF30
Isolast® PureFab® JPF40
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Wafer Support and Transfer Pads

• 低黏滯
• 一流的純度
• 提供各種形狀和設計

適合材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF22
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Process Precursor Canister Seals

• 低滲透性
• 高純度

與所有氣體相容，包括胺基化合物，例如：TDMAT 適用材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF40
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Process Gas Delivery Valve Seals

• 與所有製程氣體相容
• 高純度
• 長期可靠性

與所有氣體相容，包括胺基化合物，例如：TDMAT 適用材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF20
Isolast® PureFab® JPF22
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Main Chamber Body Seals

• 超低除氣性能
• 低滲透性
• 全系列尺寸，包括 Fleximold® 技術的超大直徑密封件

與所有氣體相容，包括胺基化合物，例如：TDMAT 適用材料：
Isolast® PureFab® JPF10
Isolast® PureFab® JPF22
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