Isolast® PureFab® FFKM

Trelleborg Sealing Solutions 은 화학공정, 시스템 위치 및 복잡한 도구에 맞는 독특하고 집중적인 재료 포트폴리오를 제공합니다:

lsolast® PureFab® JPF10:

• 완전한 유기적 구조
• 고순도
• 불소 및 산소 radical 플라즈마 저항성이 우수합니다
• 저입자 생성
• +300 °C 이상의 고온 안정성
• 증기 및 광산을 포함한 내화학성이 우수합니다
• 드라이 에칭, stripping 및 원격 플라즈마 클리닝을 포함한 공정에 적합
  
  

lsolast® PureFab® JPF20:

• 최소한의 입자 생성을 제공하는 첨단 나노 입자 필러 시스템
• 공격적인 이온과 radical이 풍부한 플라즈마 화학에 대한 최대 저항성
• +320°C까지 고온 안정성이 우수합니다
• 극도의 플라즈마 저항성이 요구되는 모든 식각 공정 및 중요 공구 위치에서 사용하기에 적합합니다
  
  

Isolast® PureFab® JPF21:

• 독점적인 필러 시스템은 우수한 산소 플라즈마 저항성과 치수 안정성을 제공합니다
• NF3 플라즈마 내 최소 입자
• +300°C 이상의 온도에서도 장기간에 걸쳐 우수한 씰링력 유지로 씰링 수명 연장
• 식각, 증착 및 확산 공정에 적합
  
  

Isolast® PureFab® JPF30:

• 충전되지 않은 반투명 극순도 소재
• 극소량의 미량 금속함량
• +300°C에서도 경쟁사의 반투명 소재와 비교할 수 없는 열 안정성 성능
• ash and strip 공정은 물론 낮은 씰링력이 필요한 용도에 적합합니다
  
  

Isolast® PureFab® 범위의 기타 재료::

Isolast® PureFab® J9675:

• 복원력이 뛰어난 완전 유기농 제형
• 고급 노드 포토리소그래피 애플리케이션을 위한 초저아웃가싱 성능
• 가스 배출 특성이 중요한 댐핑 용도에 적합합니다
  
  

Isolast® PureFab® J9685:

• 뛰어난 내열성
• 매우 낮은 압축율
• 최대 325°C의 고온 열 공정에서 작동합니다
• ALD, 산화/확산 등의 열공정에 적합 
  
  

Isolast® PureFab® J9610:

• 습식 공정 적용에 탁월한 내화학성
• 공격적인 습식 공정 화학 물질에서 추출 가능성이 매우 낮음
• CMP, ECD 및 습식 에칭 애플리케이션에 적합합니다
  
  

제품:

• 오링
• 고무 대 금속 및 고무 대 플라스틱 접합 제품(예: 웨이퍼 취급 제품)을 포함한 맞춤 설계 씰
• FlexiMold® 대형 diameter 조인트 프리 씰
• 센터링 링(NW, KF, ISO)