‘Fab Four’ - Nejlepší materiály na bázi FFKM určené pro nejkritičtější těsnicí aplikace polovodičového průmyslu

10_PureFab_Web News 800x450
Date: 14.04.21
Společnost Trelleborg Sealing Solutions uvádí na trh čtyři nejlepší materiály třídy Isolast® PureFab™, které byly speciálně vyvinuty pro kritické aplikace polovodičového průmyslu. S využitím těchto jedinečných perfluorelastomerových (FFKM) směsí mohou výrobci OEM (Original Equipment Manufacturer) a Fab zvýšit produkci svých výrobků a snížit poruchovost výrobních procesů. To vede ke snížení prostojů, prodloužení cyklů údržby, delší provozuschopnosti nástroje a tím také ke snížení celkových nákladů.

Výborné mechanické vlastnosti všech těsnicích polovodičových materiálů ‘Fab Four’ jsou dány nejvyšší čistotou, vysokou odolností vůči plazmě, schopností odplynění, nebo tepelnou stabilitou. Pro své specifické vlastnosti patří jednotlivé materiály k nejlepším ve své třídě: 

  • Isolast® PureFab™ JPF10 - materiál na čistě organické bázi s výraznou odolností proti plazmě
  • Isolast® PureFab™ JPF20 - značně odolný materiál proti plazmě a schopností akceptovat minimální částice v drsném prostředí
  • Isolast® PureFab™ JPF21 - materiál s minimální kontaminací kovových částic určený pro dlouhodobou teplotní zátěž
  • Isolast® PureFab™ JPF30 - průsvitný materiál s vysokou teplotní odolností a extrémní čistotou

 

Zaregistrujte se na webový seminář

Dne 27. dubna v 8:00 hod. (SELČ) a 28. dubna v 17:00 hod. (SELČ) pořádají odborníci na polovodičový průmysl společnosti Trelleborg Sealing Solutions bezplatný webový seminář na téma "Isolast® PureFabTM FFKM Seals – Maximize System Uptime of Advanced Semiconductor Processes Now".  Na tomto semináři budou představeny nové těsnicí materiály a účastníci se mimo jiné dozví, jaké výhody přinášejí tyto materiály výrobcům polovodičů.  

 

Vývoj materiálů a prokázaná výkonnost


Dr. Murat Gulcur, Semiconductor Materials Development Manager společnosti Trelleborg Sealing Solutions, řekl: ,,Naslouchali jsme našim zákazníkům a řešili jsme požadavky na kritické 'front-end' procesy. Následně jsme investovali značné prostředky do výzkumu a vývoje za účelem vývoje čtyř nových špičkových materiálů Isolast® FFKM. Nové směsi si okamžitě získaly vedoucí postavení na trhu a jsou zcela v souladu s nynějšími potřebami polovodičového průmyslu a co je důležité, s rozvojovými potřebami budoucnosti”. 

,,Výběr správného těsnicího materiálu pro polovodičový průmysl je obzvlášť důležitý z důvodu dosažení optimální rovnováhy mezi prodloužením životnosti těsnicího prvku a šancí na znečištění systému. Proces miniaturizace nečistot je tím více kritičtější. Dnešní procesní uzly pracují s částicemi do 5 nanometrů (nm), ale v budoucnosti to bude pouze do 3 nm - čistota je na prvním místě”.

 

,,Prokázání výkonnosti materiálů probíhalo 24 měsíců prostřednictvím rozsáhlého testování, včetně zkoušek na erozi plazmou nejběžnějších plynů, dále se prováděly dlouhodobé mechanické zkoušky, testy čistoty, analyzovaly se stopové kovy a schopnost odplynění”. 

 

,,Díky výsledkům tohoto testování a jejich srovnáním s konkurenčními údaji mohou inženýři společnosti Trelleborg podpořit své zákazníky a přesně specifikovat nejúčinnější těsnicí materiál, který odpovídá procesní chemii, umístění v systému a složitosti nástroje v náročných zařízeních polovodičových výrob. Touto podporou snižujeme rizika našich zákazníků při výběru nových materiálů”. 

 

Portfolio materiálů Isolast® PureFab™


Isolast® PureFab™ JPF10 je vyráběn jedinečnou technologií vulkanizace, která zajišťuje zlepšenou plazmovou rezistenci organických materiálů bez použití jakýchkoli anorganických plnidel. Tím se tento materiál stává jedním z nejvýkonnějších plně organických materiálů na trhu, který nabízí extrémně nízký obsah stopových kovů a poskytuje dlouhou životnost i při vysokých teplotách. 

 
Dr. Murat Gulcur pokračuje, ,,U některých vysoce kritických polovodičových procesů mohou být požadavky na těsnicí materiál ještě přísnější. Například, pokud je procesní uzel menší než 10 nm a elastomerová část je v těsné blízkosti polovodičových destiček (wafers), může být vyžadován speciálně navržený ultračistý materiál na bázi FFKM bez jakéhokoli plnění, aby tak případně nebyl ovlivněn objem vyráběné polovodičové destičky”. 
 

Pro takové účely nabízí Isolast® PureFab™ JPF30 ve srovnání s jinými průsvitnými materiály na trhu, bezkonkurenčně vyšší teplotní výkonnost a těsnicí integritu. 

Isolast® PureFab™ JPF20 obsahuje progresivní plnivo z nanočástic s velmi vysokou povrchovou plochou, což způsobuje, že množství plniva v materiálu je výrazně nižší než u konkurenčních sloučenin.


Další, plně syntetické plnivo je použito u materiálu Isolast® PureFab™ JPF21, který nabízí vynikající výkon při vysokých teplotách až do +320 °C /+593 °F a minimalizuje uvolňování částice při působení plazmy na bázi fluoru. Díky svým vynikajícím vlastnostem při takovém zatížení je směs vhodná pro dynamické aplikace, včetně výroby lepeného těsnění dveří výrobního polovodičového zařízení (bonded slit valve doors).

 

Řešení problémů v oblasti polovodičového průmyslu

Nové materiály Isolast® PureFab™ jsou obzvlášť vhodné pro utěsnění kritických míst při výrobních procesech polovodičů, zejména pro plazmové procesy, včetně nanášení, leptání, spalování a odsávání popela, stejně tak pro tepelné procesy jako je například oxidace, difuze, RTP, ALD a kovové povlakování CVD. 
 
 
Chris Busby, Product Line Director & Semiconductor Segment Lead společnosti Trelleborg Sealing Solutions dodal: ,,Nejde jen o samotný produkt. Společnost Trelleborg Sealing Solutions je známá svou konstrukční a technickou odborností a tak si získala pověst 'řešitele problémů' i v oblasti polovodičového průmyslu. Celosvětový vývoj se také opírá o lokální odbornou podporu mezinárodně působících originálních výrobců (OEM) a výrobců polovodičových součástek (Fab)”. 
 

Zjistěte více