耐高溫密封件提高了半導體廠務 (SubFab) 應用的生產力


承受極端溫度和復雜的化學物質


特瑞堡密封系統半導體部門總監兼 O-Ring 和工程模壓件產品線總監 Chris Busby 表示:「Isolast® K-Fab™ 密封件能夠承受極端溫度和關鍵廠務 (SubFab) 環境中的複雜化學物質,這環境可能對法蘭中的橡膠密封件造成極大的破壞。我們獨特的設計包括保留密封功能,可確保密封件容易安裝到 NW/KF/ISO 真空接頭中。橡膠元件的設計也使法蘭的組裝變得相當容易。整體而言,這有助於減少意外停機時間並降低擁有成本。”

 

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客製化密封幾何形狀

由全氟橡膠 (FFKM) 配製而成,客製化的密封幾何形狀使用的橡膠原料更少,以消除溢出和擠出風險,並改善熱性能,以及消除熱膨脹和溝槽填充率的問題。與 O-Ring 相比,密封幾何結構可以承受法蘭的不對中問題,這有助於安裝。這種優化的密封設計提高了性能,尤其是在不同的壓力或真空條件下,可以延長使用壽命並降低整體擁有成本。 

多種橡膠材料

 

Isolast® K-Fab™ 密封件可承受高達 +325 °C / +617 °F 的溫度,具體取決於材料的選擇。橡膠材料的靈活使用旨在通過使材料性能與應用相配對,來降低整體擁有成本。 Isolast® K-Fab™ 法蘭密封件適用於與鋁或不銹鋼的組合,可以由一系列橡膠材料製成,包括 Isolast® FFKM、Isolast® PureFab™ FFKM 用於超高純度、FKM 和 PureFab™ FKM。

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技術網路研討會

與半導體部門總監兼 O-Ring 和工程模壓件產品線總監 Chris Busby 一起了解這一項產品的獨特之處:

  • 了解更多關於法蘭嵌件和橡膠元件之間獨特的拼接,使法蘭的組裝更加容易
  • 了解 Isolast® K-Fab™ 法蘭密封件如何有助於顯著降低微晶片的整體製造成本
  • 了解我們為您的關鍵廠務 (SubFab) 應用設計的一系列解決方案

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