트렐레보그, 세미콘 대만 2024에서 혁신적인 씰링 솔루션 공개

Semicon Taiwan webnews
트렐보그 씰링 솔루션은 9월 4일부터 6일까지 타이넥스 1, 2관 L0206 부스에서 세미콘 대만 2024에서 광범위한 엔지니어링 역량과 확장된 반도체 씰의 범위를 시연합니다.

극한의 환경을 위한 최적의 솔루션

트렐보그 실링 솔루션의 반도체 부문 매니저인 에단 황은 이렇게 말합니다: "반도체 환경이 극한의 온도와 더 공격적인 화학 전구체로 인해 점점 더 중요해짐에 따라 조기 고장을 방지하기 위해 신뢰할 수 있는 실링 솔루션이 더욱 중요해졌습니다. 세미콘 대만에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별히 설계된 반도체 포트폴리오에 최신 제품을 추가할 예정입니다.


"트렐보그 고객은 프리미엄 엔지니어링 기능을 통해 유한 요소 분석을 사용하여 압축 집합 데이터를 모델링하는 고유한 기능을 포함하여 오늘날의 점점 더 극단적인 팹 및 서브팹 환경에 적합한 맞춤형 솔루션을 개발할 수 있습니다. 이러한 기술의 단계적 변화를 통해 엔지니어는 완제품을 설계하고 제조할 때 씰의 사용 가능한 수명을 더 정확하게 예측할 수 있습니다."

 

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반도체 포트폴리오를 강화하는 신제품 

세미콘 대만은 애프터마켓 및 오리지널 장비 제조업체의 고성능 특수 씰 제조업체인 한국 대표 제조업체 MNE 그룹의 트렐보그 그룹이 인수한 후 트렐보그 씰링 솔루션 포트폴리오에 흡수된 제품의 첫 선을 보이는 곳입니다.

 

신제품으로는 화학기상증착(CVD), 에칭, 재 및 스트리핑 등 주요 공정에서 밀봉되는 Nanopure® perfluoroelastomer (FFKM) 및 플루오로카본(FKM) O-링이 있습니다.

 

트렐레보르그는 또한 CMP 연마 공정에서 연마 패드와 웨이퍼를 안정화하기 위해 액체 실리콘 고무(LSR)와 고일관성 고무(HCR) 롤링 다이아프램을 포함한 화학적 기계적 평탄화(CMP) 부품을 제시합니다.

 

트렐보그 제품군에 도입된 또 다른 제품은 웨이퍼 이송 챔버용 동적 고무-금속 접합 씰로 구성된 칩 제조에서 가장 중요한 씰인 접합 슬릿 밸브 도어 씰입니다.

 

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최첨단 고순도 Isolast®

트렐레보르그는 또한 신속 열처리(RTP), 원자층 퇴적(ALD), 산화 등 까다로운 서브팹 응용 및 열 공정을 위해 개발된 초고온 FFKM인 JPF40을 포함한 광범위한 Isolast® PureFab™ 제품군에 최신 제품을 추가하여 선보일 예정입니다. 작동 온도에서 +200°C/+392°F에서 +300°C/+552°F까지 독보적인 압축 세트 성능을 제공합니다. 이를 통해 엘라스토머 소재의 최고 온도인 +325°C/+617°F 이상의 피크 도포 온도에서도 견딜 수 있어 중요한 공정에 대한 밀봉 무결성을 보장합니다.

 

Isolast® PureFab™ JPF22는 광범위한 반도체 응용 분야에 적합한 우수한 화학적 호환성을 갖춘 우수한 만능 FFKM 씰입니다. 이 소재는 습식 공정 화학 물질과 증기, 아민 기반 ALD 전구체에 대한 우수한 내성을 제공합니다.

 


광범위한 엔지니어링


트렐레보르그는 또한 반도체 고객을 위해 유한 요소 분석(FEA)을 사용하여 밀봉 수명을 예측하는 엘라스토머 압축 세트를 모델링하는 고유한 기능을 포함하여 광범위하고 엄격한 엔지니어링 기능을 시연할 예정입니다. 이 접근 방식을 통해 엔지니어는 업계 표준 시뮬레이션 압축 세트 테스트에 비해 더 정확한 밀봉 압축 세트 데이터를 캡처하여 밀봉 수명에 대한 더 정확한 예측을 할 수 있습니다. 고객과 협력하여 특정 애플리케이션을 위한 맞춤형 밀봉을 개발할 수 있는 광범위한 기능도 강조될 예정입니다.

마지막으로 트렐보그 씰링 솔루션의 기술 디렉터인 무랏 굴쿠르 박사는 이 쇼에서 '첨단 씰링 기술을 통한 공구 성능 개선'이라는 제목의 'TechXPOT' 프레젠테이션을 진행할 예정입니다. 프레젠테이션에서는 FEA 시뮬레이션 및 제품 혁신을 포함한 신중한 재료 선택, 설계가 생산을 늦추거나 중단하여 생산성 손실로 이어질 수 있는 씰 고장을 피하는 데 도움이 되는 이유를 자세히 설명합니다.

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